来源：北极星电力网2023-01-17

发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，集成多维度信息采集能力的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。发光二极管。

来源：德州市人民政府2022-12-28

集成电路封装测试方面：研发逻辑 ic、存储器和微机电系统（ mems）单/双列直插封装业务，发展球栅阵列封装（ bga）、插针网格封装（ pga）、小外形封装（ sop） 等主流封装工艺， 研发圆片级封装

来源：德州市人民政府2022-12-27

集成电路封装测试方面：研发逻辑 ic、存储器和微机电系统（ mems）单/双列直插封装业务，发展球栅阵列封装（ bga）、插针网格封装（ pga）、小外形封装（ sop） 等主流封装工艺， 研发圆片级封装

来源：深圳市工业和信息化局2022-12-21

同步引导企业利用本地mems中试线等公共服务平台开展新产品开发，对企业在本地平台产生的一次性工程费（nre费用）按照最高30%、不超过100万的标准予以补助。...推动mems中试线等公共服务平台对大中小企业提供阶梯式服务价格，以具有市场竞争力的折扣价格优先为符合条件的本地智能传感器中小企业提供服务，支持专业园区为入园的中小企业提供配套成体系专业化公共服务。

来源：国家发改委2022-11-30

数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造330.集成电路设计，线宽28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，掩膜版制造，mems

来源：北极星储能网2022-11-25

城市药业年产150吨盐酸普鲁卡因等原料药项目448 年产20000吨锂电池极片涂覆用勃姆石建设项目449 淮上区合荣年产3万台防爆电器及智能防爆系统项目450 消防产品研发生产能力提升建设项目451 经开区mems

来源：北极星电力网2022-11-24

城市药业年产150吨盐酸普鲁卡因等原料药项目448 年产20000吨锂电池极片涂覆用勃姆石建设项目449 淮上区合荣年产3万台防爆电器及智能防爆系统项目450 消防产品研发生产能力提升建设项目451 经开区mems

来源：北极星碳管家网2022-11-24

城市药业年产150吨盐酸普鲁卡因等原料药项目448 年产20000吨锂电池极片涂覆用勃姆石建设项目449 淮上区合荣年产3万台防爆电器及智能防爆系统项目450 消防产品研发生产能力提升建设项目451 经开区mems

来源：北极星环保网2022-11-24

城市药业年产150吨盐酸普鲁卡因等原料药项目448 年产20000吨锂电池极片涂覆用勃姆石建设项目449 淮上区合荣年产3万台防爆电器及智能防爆系统项目450 消防产品研发生产能力提升建设项目451 经开区mems

来源：安徽省人民政府2022-11-23

贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司完成人：song fuquan，卢志国3．测试数据调整及间接存储的集成电路测试方法及应用完成单位：安庆师范大学，池州华宇电子科技股份有限公司完成人：詹文法，江健生4．cmos-mems

来源：湖北省市场监督管理局2022-11-15

二、环境感知技术研究:微机电系统(mems)执行器、mems激光雷达、mems智能感知微系统等。三、生物医学传感技术研究:柔性无创高清三维内窥实时成像技术、肿瘤手术中高特异性快速成像技术等。

来源：北极星储能网2022-11-10

资料显示，北京赛微电子股份有限公司以半导体业务为核心，一方面重点发展mems工艺开发与晶圆制造业务，一方面积极布局gan材料与器件业务。...主要产品及业务包括mems芯片的工艺开发及晶圆制造、gan外延材料生长与器件设计，下游应用领域包括通信、生物医疗、工业科学、消费电子等。

来源：绍兴市人民政府2022-11-09

重点开展面向通讯、物联网、新能源汽车、消费电子、家电等行业领域的芯片设计，在功率器件、mems传感器、rfid等感应器件、fpga、igbt、mcu等核心芯片设计领域实现突破。——设备辅材。...面向5g通信、物联网、消费电子、工业电子等领域的芯片设计与研发；新一代封装测试及关键装备和材料、功率半导体器件封装基板高精密蚀刻技术；微机电系统（mems）、功率器件等特色工艺集成电路的制造、封装、测试及模组生产工艺研究

来源：绍兴市人民政府2022-11-09

重点开展面向通讯、物联网、新能源汽车、消费电子、家电等行业领域的芯片设计，在功率器件、mems传感器、rfid等感应器件、fpga、igbt、mcu等核心芯片设计领域实现突破。——设备辅材。...面向5g通信、物联网、消费电子、工业电子等领域的芯片设计与研发；新一代封装测试及关键装备和材料、功率半导体器件封装基板高精密蚀刻技术；微机电系统（mems）、功率器件等特色工艺集成电路的制造、封装、测试及模组生产工艺研究

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：北极星储能网2022-10-24

北极星储能网获悉，10月20日，吉利科技集团与华润微电子签订合作协议，双方将构建车规级功率半导体产业合作机制，基于功率模块、mems传感器、面板级封装等产品或技术推出联合解决方案，实现优势互补，推动提升新能源汽车

来源：池州市人民政府2022-10-17

针对电动汽车充电桩、尘埃粒子计数器、标准电阻、静电放电发生器、示波器校准仪等计量需求，在晶圆制造、封装与测试技术、mems红外热电堆温度传感器芯片等半导体产业以及轻合金材料产业等方面开展计量测试技术研究和成果转化...针对电动汽车充电桩、尘埃粒子计数器、标准电阻、静电放电发生器、示波器校准仪等计量需求，在晶圆制造、封装与测试技术、mems红外热电堆温度传感器芯片等半导体产业以及轻合金材料产业等方面开展计量测试技术研究和成果转化

来源：湖南省人民政府2022-10-17

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究。针对智能、在线、网络计量收费广泛应用趋势，开展在线、网络计量计费系统价格监测计量技术研究与应用。18．服务健康产业发展。