2006-08-16

虽然mems产业传统上与汽车应用相关，但是随着微型传感器变得越来越灵敏且价格便宜，该产业也开始在消费市场中占据一席之地。...　　　飞思卡尔半导体(freescale)推出三款具备高感应度的传感器，采用微机电(mems)制程的mma6270q (xy-轴)、mma6280q (xz-轴)和mma7261q (xyz-轴)传感器

2006-08-03

3.发展重点 3.1 传感器技术 （1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺

2006-07-17

世界各国对微型电子机械系统给予极高重视，美国宇航局很早就给予支持，美国国防部高级研究计划局等机构每年投资2000万美元，德国每年投资 7000万美元，日本通商产业省则拟订了一个十年 内投资2亿美元的计划，美国的硅谷已成为当今世界上mems

2006-06-15

中国电子元件行业协会信息中心主任 　　姜书汉 《电子元器件应用》杂志主编 　　研讨主题及征文内容 　　电流传感器应用与设计方法探讨 　　新型传感器应用技巧 　　纳米及新材料传感器设计技术 　　mems

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。...ti主要销售micro-mirror显示组件，hp则是mems喷墨式印表头的领导厂商。排名第三的是德国的robert bosch，该公司是全球最大的solid-state传感器供货商。

2006-04-19

该公司是使用mems技术生产3轴加速度传感器的第一大厂商，增产的目的是要扩大该产品在便携终端领域的应用。 该公司正在将产能由目前的年产3000万个扩大到1亿个。...该公司在纽约州伊萨卡镇的总部工厂生产mems传感器芯片，信号处理lsi则委托给硅代工厂商生产。然后再由专业封装公司进行组装。封装后的元件送回总公司，进行校正和检查。

2006-04-04

目前mems传感器的热点应用市场将转变为民用产品市场。”青鸟元芯微系统科技有限公司的总经理张威如此评论mems的发展历程。...其工程部经理华亚平认为：“随着mems技术的发展，mems传感器将会越来越多地跨越价格的门槛走进消费电子市场。”

2006-01-18

多传感器及阵列传感器研究 西安交通大学 蒋庄德 300 2005aa404290 面向服务机器人的mems传感器集成化应用研究 哈尔滨工业大学 孙立宁 130...南京联宏自动化系统工程有限公司 吴宝财 200 2005aa133070 煤矿数字化瓦斯远程监测监控系统 煤炭科学研究总院常州自动化研究所 史友仁 200 2005aa404210 mems

2005-11-30

自动在线泥沙测量仪 中国科学院水利部水土保持研究所 1675 2005ed851003 超利巴流量测量装置gdwzl-50clb 西安中航流量技术研究所 1694 2005ed851023 mems

2005-11-11

高精度智能数字远传表 潍坊市潍微科技有限公司 961 05c26213700961 kr-i全自动红外测油仪 泰安市科瑞光学仪器有限公司 987 05c26123700987 mems

2005-10-28

传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标： 　　以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象，发展具有自主知识产权的原创性技术和产品； 　　以mems

2005-09-12

日前，威海高新区一家企业承担的高精度mems （数字地震检波器） 被再次列入2005年度国家863计划重点项目。这家企业就是威海双丰科技集团。...一方面双丰公司将继续在其主导的石油勘探等高新技术领域有所突破，在mems方面加大研发力度。该项目2004年和2005年都被列为国家863重点支持项目。

2005-07-21

发展重点 传感器技术 （1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺；封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺；新型传感器...传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标： ---以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象，发展具有自主知识产权的原创性技术和产品； ---以mems

2005-06-24

流量测试仪 　　贵州省都匀市智能水表有限责任公司、贵州鑫淼科技有限责任公司tm卡智能预付费冷水表 lxstm-15～25b 　　中国科学院水利部水土保持研究所自动在线泥沙测量仪 　　西安中星测控有限公司mems

2005-04-26

　　中国汽车配件厂商中国汽车系统公司（china automotive systems, inc.）与美国mems传感器厂商传感器系统解决方案公司（sensor system solutions, inc

2005-02-18

例如：当前我国正在重点开发的mems(微电子与微机械的结合)、momes(mems与微光学的结合)、智能传感器(mems与cpu、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(mems与生物技术、电化学的结合)

2005-01-28

在其他电子基础产品领域，除半导体二极管、三极管、电力电子器件等传统的半导体设备应用领域之外，mems、saw等高频频率器件、光纤通信器件、敏感器件、绿色电池、ccd、ld、光盘、硬磁盘、片式无源电子元件等生产线上甚至表面贴装技术

2005-01-26

过去，ibm曾经在笔记本电脑上配备过mems双轴加速度传感器。不过，双轴有时无法完全检测到下落的情况。...　　为了保护硬盘，mems技术的三轴加速度传感器日前首次应用到了笔记本电脑上。东芝1月19日上市的“dynabook ss”系列首次采用了该传感器。

2004-12-31

工业过程控制传感器市场1998年为60亿美元，2008年将达到91亿美元，在新型传感器中，mems传感器是全世界增长最快的产品之一，近年来，mems市场销售年增长率为20%~30%，预计2005年的销售额将达到

2004-10-15

另一方面，随着电子基础产品小型化、微型化的发展，半导体设备已越来越多地扩展应用到电力电子器件、mems、moems、高频频率器件、tft-lcd、led(包括半导体照明)、pdp、vfd、太阳能电池、敏感器件