来源：烟台市人民政府2026-09-30

攻坚光刻胶、半导体靶材、键合丝等关键材料，加速先进卫星互联网宽带终端中频芯片论证及产业化进程，推动第四代石墨烯半导体材料相关产业转化，探索非制冷红外mems芯片先进制程。

来源：郑州市政府2026-09-22

做大新一代智能终端，丰富智能终端产品矩阵，攻坚车规级芯片、mems传感器、显示面板等核心器件，补齐模组配套。

来源：工业和信息化部2026-09-15

提升微机电系统（mems）等智能传感器工艺能力，支持传感器可靠性技术开发。健全智能传感器设计、制造、封测等全流程质量管控机制，加快提升产品稳定性、一致性。

来源：优利德集团2026-09-10

ut568平板式(红外)声成像仪：最高搭载345颗高灵敏度mems数字麦克风，成像频率范围为2khz~100khz，检测距离0.3m~200m。

来源：江苏省人民政府2026-09-01

一种mems soi压力传感器及其制备方法（zl202110036056.2）专利权人：东南大学、南京高华科技股份有限公司42.

来源：重庆高新技术产业开发区管理委员会2026-07-31

重点发展第三代化合物半导体（碳化硅sic）、硅基功率半导体、mems与传感器、高端特色工艺、硅基光电子与光集成、车规级晶圆制造等领域。3．封测模组。...覆盖mems惯性、压力、气体传感器以及硅光芯片、射频与模拟芯片的封测与老化测试。4．材料设备。重点发展氮化镓外延、氧化镓外延、金刚石衬底、蓝宝石衬底等领域。

来源：优利德集团2026-07-21

依托345个高密度mems麦克风组成的声学阵列及2khz–100khz宽频信号采集技术，设备能敏锐捕捉从柜体缝隙与通风孔等微小开口处泄漏出的微弱局放声信号，并将不可见的超声信号实时转化为直观的声云图像。

来源：浙江省人民政府2026-07-17

重点攻关海洋精准感知、智能装备、关键材料、海洋大模型等核心技术，突破深海机器人动力部件、微机电系统（mems）器件等关键环节，推进多金属结核资源勘探、深海高速率通信导航、高分辨成像与智能系统集成等前沿技术布局

来源：重庆市万州区人民政府2026-06-08

2.沉浸技术推动工业级沉浸式装备布局，鼓励电子信息企业、新材料等产业延伸惯性测量单元与mems传感器、触觉与力觉反馈设备等，布局工业数字孪生空间定位与感知装备，全力支撑工业元宇宙与高端制造发展。

来源：广州市人民政府2026-06-04

半导体与集成电路重点围绕高端通用芯片、专用芯片设计，聚焦模拟及数模混合、高端传感器、微机电系统（mems）等特色工艺制程芯片，以及第三代半导体开展研发制造，建设黄埔湾区集成电路产业园、增城泛半导体产业园

来源：郑州市发展和改革委员会2026-05-28

加快国创电子智慧终端产业园、国家交通大数据产业园等项目建设，推进中国（郑州）智能传感谷启动区、中交感知智汇产业园、mems传感器研发中试平台建设。2.智能体城市建设工程。加快视联网、车路云等项目建设。

来源：优利德集团2026-04-15

产品搭载138个高灵敏度mems数字麦克风阵列，支持2khz–100khz宽频响应，可将人耳难以察觉的超声波信号转化为可视化声云图，并实时叠加在高清画面上，实现泄漏点、局放点精准定位。

来源：淄博市人民政府2026-04-03

加快发展集成电路、智能终端、电子材料等产业板块，拓展mems传感器、光通信等细分赛道，开发应用新技术新产品新场景，增强中高端软件产品和解决方案供给能力。

来源：重庆市发改委2026-03-23

推动新一代电子信息制造业稳量提质，ai pc渗透率达19.4%，奥松电子8英寸mems传感器芯片产业基地、芯联12英寸特色工艺生产线等重大项目建成通线，集成电路、液晶显示屏产量分别增长47.2%、15.8%

来源：西清能源2026-02-14

同时，公司正式推出mems工艺超声气体探测器，打破“卡脖子”技术，为热失控预警增添可靠保障；国内首个《储能电站用锂离子电池健康评估实践分析》通过专家评审，即将发布。

来源：长治市人民政府2026-02-13

43.电子信息产业，抓好长治“智感谷”mems芯片制造基地、高科led封装扩产、智能电子共享终端等11个项目建设。

来源：国家电网报2026-02-12

由中国电力科学研究院有限公司牵头承担的国家重点研发计划项目“高灵敏mems磁敏感元件及传感器”成果入选试点名单，成为智能传感器领域28项试点成果之一。

来源：优利德集团2026-02-03

ut568f红外声成像仪：配备162个高灵敏度mems数字麦克风，成像频率范围为2khz~100khz，红外分辨率640×512，温度测量范围-20°c至550°c，一台设备即可实现电力局放检测与温度异常预警

来源：工信部2026-01-23

其中，高端功能与智能材料包括清华大学的超高储能密度电介质材料及器件、华南理工大学的面向氢气高效分离的无机二维材料膜；智能传感器包括国网智能电网研究院有限公司的高灵敏 mems 磁敏感元件及传感器；工业软件包括珠海格力电器股份有限公司的大规模制造产业工业互联平台

来源：广州市人民政府办公厅2026-01-08

3.智能传感器：针对工业互联网、大数据、物联网、人工智能、vr/ar等新一代信息技术快速发展的需求，重点攻关微机电系统（mems）、cmos等智能传感器核心技术，大力发展车规级传感器、智能终端传感器、智能装备传感器