来源：阜新市人民政府2023-07-05

依托传感器制造类企业，研发位移传感器和红外飞行时间（tof）单点测距传感器、六维力传感器、固态激光雷达、微机电系统传感器等高端传感器产品。

来源：深圳市人民政府2023-05-05

重点开展图像视觉、柔性触觉、光纤、电离辐射、微力、微机电系统（mems）等智能化传感和精密测量技术研究，细胞（器）、生物分子（蛋白质及核酸等）传感与精准测量技术研究，微纳米、大尺寸、空间与位置等精密测量技术

来源：广州市市场监督管理局2023-04-10

重点开展复杂几何量、微纳米、微机电系统、光纤、痕量物质等领域精密测量技术研究。开展芯片三维复杂纳米结构几何参数在线精准测量技术等研究和应用。...重点开展复杂几何量、微纳米、微机电系统、光纤、痕量物质等领域精密测量技术研究。开展芯片三维复杂纳米结构几何参数在线精准测量技术等研究和应用。

来源：德州市人民政府2022-12-28

集成电路封装测试方面：研发逻辑 ic、存储器和微机电系统（ mems）单/双列直插封装业务，发展球栅阵列封装（ bga）、插针网格封装（ pga）、小外形封装（ sop） 等主流封装工艺， 研发圆片级封装

来源：德州市人民政府2022-12-27

集成电路封装测试方面：研发逻辑 ic、存储器和微机电系统（ mems）单/双列直插封装业务，发展球栅阵列封装（ bga）、插针网格封装（ pga）、小外形封装（ sop） 等主流封装工艺， 研发圆片级封装

来源：陕西省人民政府2022-12-19

推动企业开展智能传感器、微机电系统传感器等关键参数计量测试技术方法研究，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力，提升数字产业的计量服务能力。（十二）服务大众健康与安全。

来源：湖北省市场监督管理局2022-11-15

二、环境感知技术研究:微机电系统(mems)执行器、mems激光雷达、mems智能感知微系统等。三、生物医学传感技术研究:柔性无创高清三维内窥实时成像技术、肿瘤手术中高特异性快速成像技术等。

来源：绍兴市人民政府2022-11-09

以特色工艺芯片制造为主攻方向，依托绍芯实验室，提升在外延、晶圆检查、热氧化、溅射、光刻等环节工艺集成创新能力，推进8英寸、12英寸晶圆制造代工生产线建设，大力发展以微机电系统、功率器件为主的特种工艺晶圆制造

来源：绍兴市人民政府2022-11-09

以特色工艺芯片制造为主攻方向，依托绍芯实验室，提升在外延、晶圆检查、热氧化、溅射、光刻等环节工艺集成创新能力，推进8英寸、12英寸晶圆制造代工生产线建设，大力发展以微机电系统、功率器件为主的特种工艺晶圆制造

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：湖南省人民政府2022-10-17

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究。针对智能、在线、网络计量收费广泛应用趋势，开展在线、网络计量计费系统价格监测计量技术研究与应用。18．服务健康产业发展。

来源：山东省政府2022-10-11

开展集成电路、微机电系统（mems）传感器、北斗导航系统等关键参数计量测试技术研究，加快计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。

来源：无锡国家高新技术产业开发区2022-09-29

为了保持高新区集成电路制造业在全国的领先地位，在晶圆制造环节，要重点支持有特色的模拟工艺、数模混合工艺、微机电系统（mems）工艺、射频工艺、新型功率器件工艺的开发应用，推动全区集成电路特色工艺生产线的建设与扩产

来源：河南省人民政府2022-09-29

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：河南省人民政府2022-09-28

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：鹤壁市人民政府2022-09-23

以智能传感器为方向，抓住纳入全省“一谷六园”布局契机，发展基于微机电系统（mems）的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，打造智能传感器设计、制造和封装产业链

来源：广东省工信厅2022-09-08

实现集成多维度信息采集能力的高端传感器开发，重点发展新型微机电系统（mems）传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。

来源：江苏省人民政府2022-08-26

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。