来源:佐思汽车研究2018-10-16
sic基板材料技术短缺,严重制约中国、德国和美国的sic元件的发展,同时也无法降低成本。日本即使小厂都能自制sic基板,材料科技全球领先。氢燃料电池车核心技术:储氢罐储氢罐为何重要?
来源:仪商2017-08-02
石墨烯通过热外理sic基板而成膜。ibm表示,计划将其应用于高频rf元件。rice大学研究人员正在着手研究一类存储单元密度至少为闪存两倍的石墨烯片状存储器。...lbm公司于2010年12月发布了其与美国麻省理工学院(mit)的共同研究成果在sic基板上形成的栅长为240nm的石墨烯场效应晶体管(fet),并验证其截止频率为230ghz。
来源:i投资2014-11-14
(三)外延生长法外延生长法又叫做热分解法,是以单晶碳化硅(sic)为原料,将sic基板加热到1300℃左右去除表面的si,剩下的碳原子自发性重新组合形成单层或者多层石墨烯片。...该方法的优点在于可以得到尺寸较大、质量较高的单晶石墨烯;缺点包括:(1)石墨烯片很难转印到其他基板上,只能使用昂贵的sic基板;(2)工艺条件苛刻,必须在高温和超高真空条件下实现。
来源:OFweek半导体照明网2013-11-12
图3:sic迎来150mm基板的东风各sic基板企业在icscrm 2013上纷纷展出150mm(6寸)口径的sic基板(a)。在sic基板上层积外延层的外延服务也开始支援150mm。