来源：北极星太阳能光伏网2025-12-22

其开发的专用rpd设备实现了低温条件下的高效薄膜沉积，自主研发的狭缝涂布系统确保了在柔性基材上的均匀涂覆，vcd真空干燥设备则优化了钙钛矿薄膜的结晶质量，形成了完整的柔性钙钛矿电池制造解决方案。

来源：北极星太阳能光伏网（原创）2023-10-25

据北极星太阳能光伏网梳理，目前在钙钛矿电池关键设备，pvd/rpd设备、涂布设备、激光设备皆有企业布局，且有企业且进入或完成交付，比如帝尔激光表示，一直保有钙钛矿激光技术储备，2022年已有钙钛矿工艺设备订单交付

来源：苏大光伏校友会2021-04-09

项目一期第一条线主要以进口设备为主，采用启威星的清洗制绒设备、美国应用材料的pecvd设备、捷佳伟创的rpd设备、应用材料的丝网印刷设备，对应电池产能220mw；第二条线为国产设备，对应产能260mw，

来源：集邦新能源网2021-01-12

对于 rpd 设备结合 iwo 靶材的工艺，进口 iwo 的靶材密度约4~4.5g/cm3，靶材成本约为 3200 元/kg，电池片的靶材成本约 0.6~0.7 元/片；若使用国产 iwo 靶材，靶材成本可降至

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

设备、丝网印刷设备。...hit生产线核心设备有望近期实现国产化：hit的4大工艺步骤“制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备”，对应的设备分别为清洗制绒设备、cvd设备（pecvd为主、hwcvd较少）、pvd/rpd

来源：平安证券2021-01-07

生产rpd设备的厂家主要是日本住友、捷佳伟创，pvd设备供应商包括梅耶博格、钧石、新格拉斯、冯阿登纳等。...2020年9月，捷佳伟创通过引进吸收日本住友rpd技术，推出自主研发的新型rpd设备——rpd5500a。

来源：捷佳伟创2020-09-17

新型rpd设备具有离子轰击小、穿透率高、载子迁移高等良好的光电综合效应。...hjt的春天已经来到，捷佳伟创以新型rpd设备为先锋的系列设备将把高效hjt带入火热的盛夏时节！

来源：北极星太阳能光伏网(独家)2020-06-27

捷佳玮创pecvd设备相关技术获得住友重工(中国大陆地区)独家授权，其rpd设备已进入推广阶段，在2019年senc上推出的rpd设备可达3000片/h，研发的rpd5500设备毛产能可达到5500片/

来源：天风机械团队2020-06-02

在hit电池工艺技术中，超洁净hit单晶制绒清洗设备研发、透光导电薄膜设备（rpd设备）研发、金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段、hit整线生产设备国产化正在积极推进中。

来源：北极星太阳能光伏网2020-06-01

此前，爱康已经在中试研发线引进了捷佳伟创220mw rpd设备，在后续扩产前将在某些关键工艺设备上实行共同研发，主要聚焦等离子化学气象沉积镀膜设备(pecvd)和新式tco镀膜设备，双方将共同开发具有自主知识产权和技术专利的新技术和新工艺

来源：光伏测试网2020-05-27

住友重工持有rpd设备与iwo靶材两项专利技术，限制了该技术的发展。国内捷佳伟创 在获得住友重工授权以后进行研发制造，并实现了在通威产线上的应用。

来源：民生证券2020-05-15

捷佳伟创 rpd 设备已进入推广阶段，提前卡位 rpd 设备获得先发优势。捷佳伟创在 rpd 等离子抢专利授权后，成功打破台湾厂商 archers 对 rpd 工艺的垄断，rpd 设备实现 突破。

来源：华创证券2020-05-08

发制造了 rpd 设备。...rpd 设备的沉积面积是单个等离子枪单元宽度的 2.5 倍，因此为提升单台设备产能，需要配置更多的等离 子枪，而等离子枪这一核心部件的技术专利长期由日本住友把持，目前捷佳伟创已获得等离子枪技术许可并成功研

来源：透视先进制造2020-03-16

精曜科技的rpd设备量产率稳定在98%以上，平均98.5%以上；（3）电池效率方面，rpd设备（23%）高于pvd设备（22.5%）；（4）组件成本方面，rpd设备（2.13元/w）低于pvd设备（2.18

来源：证券市场周刊2020-03-02

2019年8月，捷佳伟创hjt单晶制绒清洗设备研发、透光导电薄膜设备(rpd设备)研发、金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段，hjt整线生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售

来源：光伏测试网2020-02-24

rpd设备应用广泛，除应用于 hjt（异质结）电池产线外，还可应用于 oled、钙钛矿电池等诸多领域。拆解异质结产线投资，其中非晶硅膜沉积及 tco 镀膜占据研发实力及价值链制高点。...其中，捷佳伟创应用于 hjt（异质结）电池产线的 rpd 设备，是捷佳伟创获得住友重工（中国大陆地区）独家授权后进行研发制造的核心工艺设备，这种透光导电膜设备设计独特，相对传统的 pvd 设备具有表面损伤少

来源：光伏测试网2020-02-24

rpd设备应用广泛，除应用于hjt电池产线外，还可应用于oled、钙钛矿电池等诸多领域。...其中，捷佳伟创应用hjt电池产线的rpd设备，是捷佳伟创获得住友重工（中国大陆地区）独家授权后进行研发制造的核心工艺设备，对于hjt电池转换效率的提升具有较大的贡献。

来源：广发证券2020-02-12

hjt 工艺所需的核心设备包括：（1）湿法设备；（2）非晶硅沉积所需的pecvd 设备；（3） tco 制膜设备的pvd（rpd）设备；（4）金属化设备。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

二者相比，捷佳伟创的野心更大，hit电池工艺技术中制绒清洗设备、rpd设备、丝网印刷线均自研成功，但还处于工艺验证阶段，而难度最大的pecvd样机预计也将于2020年一季度交于客户验证，如一切顺利，捷佳伟创将有能力提供完全国产化生产线

来源：招商证券机械团队2020-02-04

tco镀膜设备：rpd设备商包括日本住友、台湾精耀，pvd设备商包括梅耶博格、应用材料、冯阿登纳、国内钧石等。...随着rpd设备国产化与产能放大化，再匹配国产蒸镀靶材后rpd将会显现出一定的优势，未来仍会存在pvd与rpd之争。