来源：民生证券2020-05-15

为实现 perc 电池背部 氧化铝膜的沉积，pecvd 系统只需做两方面的基本调整——引入三甲胺（tma）前驱体和调整 净化装置，但因为 pecvd 总的沉积原理不变，设备商所特有的等离子体生成机制也无需改变

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

一、pecvd原理pecvd 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷sih4和氨nh3。

来源：光伏标准及技术2015-07-30

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：PV-Tech2015-02-09

amtech指出，其中一个订单包括多个tempress pecvd系统，对于日本一家领先的太阳能电池和组件制造商。...我们的pecvd系统是一个我们在太阳能下行周期开发的重要的战略产品，在未来复苏周期积极支持太阳能增长机会，并为我们提供机会翻倍我们所服务的市场的规模。

来源：PV-tech2014-02-28

amtech表示，多笔订单包括扩散炉和一个用于加工更高效率太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积(pecvd)系统。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

其核心专有设备：新一代等离子强化型化学气相沉积(pecvd)系统和磁控溅射(pvd)系统拥有完全自主知识产权。

来源：北极星太阳能光伏网(独家）2013-12-19

主要产品：氧化扩散炉系列、lpcvd系统、pecvd系统、hvpe系统、mocvd系统、rtp快速热处理、气瓶柜、半导体尾气（废）处理scrubber，真空热处理炉、链式炉系列、扩散炉体系列等。

来源：PV-Tech每日光伏新闻2013-12-13

该公司还将从储备中向美国nexolon出货，为其先进的电池生产线提供扩散和pecvd系统。然而，amtech认为直至2014年九月才开始确认这些系统的收入。

来源：研华（中国）公司2013-05-28

项目实施系统架构图 研华pecvd系统解决方案架构图客户现场图片总结研华在针对设备与产线自动化的解决方案中，通过研华嵌入式平台进行数据的整合和运行，研华开放式的硬件平台支持各种流行系统，同时针对客户需求对系统进行剪裁

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积pecvd系统和磁控溅射系统pvd的高科技企业。

来源：光伏制造2012-04-09

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

3、北京七星华创：七星华创研究薄膜淀积技术和相关设备已多年，在八五攻关的工程中，研制生产的pecvd系统获得国家科技进步二等奖。...直接式又分成两种：一种为管式pecvd系统，即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。

来源：普乐2011-09-02

近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。...这样在大面积制作薄膜时因为锗的含量分布不均匀严重的影响了器件的转换效率，尤其是在第三结子电池上为了更好的吸收红外光波必须增加锗的含量势必加重锗的分布不均匀的情况，这种空间上的分布不均匀在单室多片的平行模式pecvd

来源：中国能源报2011-08-31

近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。...这样在大面积制作薄膜时因为锗的含量分布不均匀严重的影响了器件的转换效率，尤其是在第三结子电池上为了更好的吸收红外光波必须增加锗的含量势必加重锗的分布不均匀的情况，这种空间上的分布不均匀在单室多片的平行模式pecvd

来源：21IC电子网2011-08-10

pecvd系统主要工艺参数包括射频功率、反应气体组分、气体总流量、衬底温度和反应压力等，这些参数对sin薄膜的性能有很大影响。...由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd