来源：北极星电池网2023-02-15

开展以 mems 技术和器件为重点、以传感领域知识图谱为基础的智能传感器关键技术攻关，突破智能传感器设计、制造、封装、测试等关键核心技术，加快关键材料及元器件、制造装备及工艺、核心算法产品研制，搭建mems

来源：中国能源报2021-03-10

南方电网数字电网研究院有限公司智能传感与芯片技术负责人李鹏在接受本报记者采访时表示：“目前我国智能传感领域在新材料、磁阻芯片、微型传感器集成技术、低功耗mems技术等方面，已具备重要的研究基础和核心优势

来源：中商产业研究院2020-06-01

纳米、薄膜、厚膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器实现新功能提供了条件；同时，凭借mems技术，国际先进智能气体传感器已能够在一个小型封装内集成气体传感、信号采集、信息处理、校准数据存储、温度补偿以及数字接口等功能

来源：北极星储能网2020-03-31

江苏大学湖南中车时代电动汽车股份有限公司天津力神电池股份有限公司中国科学院上海有机化学研究所（盐城）新材料研发中心主要完成人：徐晓明 丁荣军 高俊奎 赵经纬 汪 伟 宫 燃 肖 业 金慧芬 黄 河四、省科学技术三等奖（147项）11．面向物联网应用的mems

来源：前瞻产业研究院2019-03-21

电镀技术作为一个从原子、离子尺度开始的材料制造以及零部件制造技术，与光刻蚀技术相结合，发展成为mems技术，mems技术随即成为mems领域的尖端技术。

来源：北极星电力网2018-01-30

2.1.7 硅基光电子、混合光电子、微波光电子2.2 集成电路2.2.1 集成电路设计2.2.2 集成电路制备2.2.3 新型、高密度集成电路封装、测试技术2.2.4 集成电路关键装备和材料2.2.5 mems...技术2.3 高端通用芯片2.3.1 神经网络与深度学习芯片2.3.2 概率芯片2.3.3 通用cpu2.3.4 智能终端嵌入式cpu2.3.5 神经拟态芯片2.4 工业软件2.4.1 工业操作系统2.4.2

来源：北极星环保网2018-01-26

新原理计算芯片2.1.7硅基光电子、混合光电子、微波光电子2.2集成电路2.2.1集成电路设计2.2.2集成电路制备2.2.3新型、高密度集成电路封装、测试技术2.2.4集成电路关键装备和材料2.2.5mems...技术2.3高端通用芯片2.3.1神经网络与深度学习芯片2.3.2概率芯片2.3.3通用cpu2.3.4智能终端嵌入式cpu2.3.5神经拟态芯片2.4工业软件2.4.1工业操作系统2.4.2工业大数据平台

来源：产业前沿2016-10-19

比如在传感器技术的发展上，新型和智能材料，自诊断、自修复、自增强等自适应功能，先进工艺、纳米技术、mems技术、仿生传感器等新型传感器都是未来的发展方向。

来源：NE电气2016-09-30

正是mems技术使我们能够制造超声微喷流(microjet)和微米尺度电机，能在一硅晶片上制造纳米尺度扫描隧道显微镜(nanoscale scanning tunneling microscopes)，

来源：搜狐中翼网2016-09-12

美新公司的技术与产品适用于多种控制系统美新mems技术独创性的采用了单芯片集成技术，能够最大限度的承受抗冲击力和振动，从而大幅提高了传感器和系统的稳定性。

来源：仪器信息网2016-02-25

滨松微型光谱仪是滨松moems技术的产物，该技术融合了滨松光电半导体开发技术和mems技术，将光电元器件的体积和成本都进行了大幅度的缩减。

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：中关村在线2015-11-20

据科技市场研究机构ic-insights的数据显示，2014年全球所售传感器的80%均是基于mems技术。

来源：物联网世界2015-09-10

尽管不常受到注意，mems技术在过去20年间经历了剧烈的改变。随着物联网(iot)不断发展，mems还将持续改进，达到更小、更省电的需求。

来源：电子发烧友2015-07-09

mems 技术具有卓越的频率温度稳定度，与晶体振荡器相比可提供 20 倍的 mtbf(故障前平均时间)和 500 倍以上的抗冲击性。

来源：OFweek可穿戴设备网2014-11-28

随着可穿戴设备的发展，未来传感器要致力于更加小型化，也需加快集成，mems技术会越来越主导局面，比如地磁传感器就需要和加速度传感器集成。...20多年来，adi公司一直是mems创新产品的领导者，不仅提供全面的惯性检测解决方案，包括备受赞誉的imems加速度 计和陀螺仪、 isensor 智能传感器以及惯性测量单元(imu);同时mems技术还简化了运动检测在工业

来源：OFweek 工控网2014-10-31

二、元芯公司北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司是目前国内第一家采用mems技术批量生产微型传感器的高科技企业。...随着消费电子产品朝着小型化、多功能化方向的进一步发展，使得以mems技术为核心竞争力的敏芯获得了前所未有的发展机遇。

来源：OFweek 可穿戴设备网2014-09-10

但是未来传感器要想在可穿戴中占据一席之地，就必须要向更加小型化、集成化发展，mems技术才会越来越主导局面，比如地磁传感器就需要和加速度传感器集成。...kionix 在量产中采用了一种称为等离子体微机械加工的硅深刻蚀专有 mems 技术。 要查看这种技术的示例，请观看我们的 等离子刻蚀视频， 该视频演示了 mems 惯性传感器如何成型。

来源：工信部2013-09-22

8 多功能环境智能传感器研发与产业化 宁夏电通实业发展有限责任公司 9 mems...技术无线传感网（节点）可编程集成传感器研发和产业化 北京鑫诺金传感技术有限公司 10 光纤逆流传感器关健技术研发及其并联在线测控装置产业化

来源：中国传动网2013-08-27

意法半导体mems技术营销经理郁正德则表示，整合mcu的智能传感器其成本势必也会较高，是否能受到oem厂商青睐也是业界关注的问题。