来源：南方电网报2022-12-06

为保障试点设备安全运行，该公司采用高精度质量流量控制器，在六氟化硫进气口添加气化加热模块，对混合气体进行精准配制和监控，防止六氟化硫气化不足引起配气不准确情况，同时坚持标准体系建设、精益管理和现场试验相结合

来源：福德世仪器2020-07-01

根据质量流量控制器（mfc）数量不同，hovacalnmf有212mf,312mf,和412mf依次对应2个气体通道，3个气体通道和4个气体通道。质量流量控制器的量程可根据客户需要定制。...hovacalnmf由4个质量流量控制器，一个由质量流量传感器控制的液体蠕动泵，一个蒸发器的温控器和一个加热管线的温控器组成。

来源：福德世仪器2020-04-22

通过厂家提供的软件操作，质量流量控制器的量程根据用户需求定制，气体通道数量可选。福德世公司已成为德国ias公司在中国区的总代理，全权为ias公司中国客户服务。

来源：科技创新导报2020-04-13

取样探头抽取样气，经过稀释后(稀释降低烟气的露点)分成两路，一路进入光散射测量单元进行测量，多余的稀释样气通过旁路质量流量计和泵排空;采样气体的体积是通过采样管路上的质量流量控制器mfc进行测量和控制。

来源：科技创新导报2020-04-10

取样探头抽取样气，经过稀释后(稀释降低烟气的露点)分成两路，一路进入光散射测量单元进行测量，多余的稀释样气通过旁路质量流量计和泵排空;采样气体的体积是通过采样管路上的质量流量控制器mfc进行测量和控制。

来源：中国电力企业联合会2018-10-09

f)设定氢气质量流量控制器的放氢流量控制值为100标准升每分钟，打开阀门v4开始放氢，同时开始记录瞬时流量值、压力值、放氢时间等数值。...b)减压阀的出口压力设置为储氢装置的额定充氢压力，充氢用氢气质量流量控制器的流量值设置为某一数值，同时用该氢气流量对储氢装置进行恒速率充氢。

来源：北极星环保网2018-02-28

流量设定值应位于质量流量控制器满量程的10%~90%之间，以获取更为准确的结果。稀释后标气浓度按公式(c.1)计算。...流量设定值应位于质量流量控制器满量程的10%~90%之间，以获取更为准确的结果。稀释后标准气体浓度按公式(b.3)计算。

来源：福德世2018-01-05

恒温工作的质量流量控制器(mfc)能在很大范围内测量和控制气体流量，并不受气体温度和压力的影响。其测量原理是，通过热量传输控制有温差和压差的气体质量流量。...技术优势自动调节浓度自动计算气体流量压差和温差不影响质量流量测量内部存储校准数据高精度经过多项校准，精度实际可达百分零点几同时最多混合8种气体测量和规定范围可根据客户要求定制通过接口与外部pc连接控制自动程序控制通过校准检查质量流量控制器目前国内外在线烟气分析仪厂家大都使用使用这款设备用于仪器出厂前的校准以及定期维护量程校准

来源：福德世2017-03-13

hovacal 气体发生器和混合气体发生器可以配置不同的质量流量控制器，蠕动泵和不同数量的气体通道，混合稀释不同的气体。。

来源：冶金信息装备网2016-05-23

2）质量流量控制器（mfc）现代搅拌系统的核心设备是mfc。

来源：世纪新能源网2013-07-11

大族环球科技股份有限公司太阳能屋顶并网电站示范工程项目施工招标2、上海浦成机电设备招标有限公司采购信息关于上海森松化工成套装备有限公司高效多晶硅还原炉系统研发及产业化采购项目的更正公告3、浙江科技学院动力电池测试系统、piv、质量流量控制器

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

且12英寸集成电路气体质量流量控制器也已完成研发，进入小批量生产阶段。...七星电子多年来一直承担着国家多项科技重大专项研发任务，先后进行了12英寸立式氧化炉、清洗机及气体质量流量控制器等产品的研发。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-22

气源柜的底部装有质量流量控制器电源、控制开关、保险丝等电路转接板。在源柜底板上安装有一个小变压器，用于进口冷阱。...６．压缩空气、氮气、氧气等各种气体的进气压力设定值均应调在０．３～０．５ｍｐａ之间，太小会使得气动阀难以开启及使质量流量控制器流量显示不稳定，太大则有可能损坏气路元器件。

来源：百度百科2012-02-28

七星集团主要产品包括：半导体工艺制造设备(微扩散系统、干法刻蚀系统、pecvd、质量流量控制器)、太阳能电池设备、tft-lcd设备、电真空设备、单晶炉、二次电池设备;各类高可靠、高稳定、高精密电阻器、

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

通过对加热部件和负载同时监控，确保实际工艺温度长期重复、稳定可靠；工艺气体流量控制将从目前的模拟向数字mfc(质量流量控制器)发展，以实现更稳定的工艺气体流量控制。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

七星电子承担了"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项（即"02专项"）中的"300mm90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目"、"65nm超精细清洗设备研制与产业化项目"、"45-

来源：互联网2011-03-14

由于实际运用中需要精确的气体流量控制，mcs系列质量流量控制器能够对腐蚀性气体进行准确的流量管理，对上游气体流量变化作出反应，同时还能在100毫秒之内获得并且记录流量定位点。