来源：高工锂电网2015-09-01

为了使硅负极可以应用于实际生产，本文以无定形硅薄膜溅射在铜箔上成功制备出了厚度大于1的硅薄膜负极材料并与市场上的licoo2制成电池进行了一系列循环和倍率性能测试。

来源：环球光伏网2011-08-04

东曹电子材料公司(tosohsmd)近日宣布将在上海成立薄膜溅射靶材制造分公司，尽管东曹株式会社下属的电子材料公司已经在华经营超过20年，这还是该公司首次在大陆设厂生产。