来源：山东志伟2025-09-01

一体化工艺集成：将臭氧清洗、氧化与其他工艺（如原子层沉积 ald、化学机械抛光cmp）集成，减少晶圆转移次数，降低污染风险，提升生产效率。...先进制程适配性：对于 3nm 及以下制程，晶圆表面粗糙度要求极高（0.1nm），臭氧清洗过程中需进一步降低对表面的微刻蚀效应，避免影响器件结构精度。2.

来源：平安证券2021-01-07

2021年臭氧清洗占比有望提高到90%。相比而言，rca清洗方法拥有流程的稳定性和可重复性、需要拥有专业知识；臭氧清洗与其他工艺更好融合，同时能够降低成本。

来源：太阳能杂志2020-08-21

singulus公司同样将业务重心转向perc电池用背钝化、激光开槽设备，hjt电池用湿化学和pvd设备，topcon电池用臭氧清洗、pecvd和pvd设备。

来源：老成之见2020-08-17

目前rena、新格拉斯等企业已推出兼容臭氧工艺的设备，预计后续hjt产能有望逐步切换到臭氧清洗路线。

来源：民生证券2020-05-19

另外，根据光伏的报道，东方日升异质结组件以及 210 组件 已有小批次订单在生产，公司在“hit 无接触传输系统”、“hit 双面无翻转镀 膜系统”、“hit 高迁移率 tco 项目”、“高效臭氧清洗技术开发

来源：摩尔光伏2020-05-19

目前，东方日升在“hit无接触传输系统”、“hit双面无翻转镀膜系统”、“hit高迁移率tco项目”、“高效臭氧清洗技术开发”、“高效hit电池印刷技术开发”等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。

来源：亚化咨询2020-05-14

目前，东方日升在“hit无接触传输系统”、“hit双面无翻转镀膜系统”、“hit高迁移率tco项目”、“高效臭氧清洗技术开发”、“高效hit电池印刷技术开发”等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。

来源：北极星太阳能光伏网2020-05-12

目前，公司在“hit无接触传输系统”、“hit双面无翻转镀膜系统”、“hit高迁移率tco项目”、“高效臭氧清洗技术开发”、“高效hit电池印刷技术开发”等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。

来源：华创证券2020-05-08

臭氧清洗工艺使用臭氧和氢氟酸溶液代替氨水、过氧化氢和硝酸，生产过 程更加环保，且对有机杂质和金属杂质的去除效果更好。...针对异质结工艺的硅片清洗主要是 rca 和臭氧清洗两种，rca 工艺中所使用的氨水和过氧化氢具有较强的挥发性，在 sc1 和 sc2 工序超过 60℃的温度下 会带来较大的消耗，因而清洗成本更高。

来源：摩尔光伏2020-02-13

臭氧清洗在满足工艺需求的同时，可降低化学品耗量及动力运行成本。