来源：北极星太阳能光伏网2024-07-08

项目拟租赁合肥京东方显示技术有限公司3号建筑楼4层总建筑面积约1.8万平方米，购置磨边机、激光划线机、湿洗机、磁控溅射机、干洗机、 涂布机、热烘烤炉、蒸镀机、原子层沉积装置、反应式等离子体沉积机、封装组件

来源：北极星太阳能光伏网2023-09-28

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

来源：北极星太阳能光伏网2023-07-18

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

来源：PVInfoLink2021-09-17

cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势，部分厂商也在开始尝试该路线；tco制备环节，磁控溅射pvd法因为工艺简单，膜层均匀易控制且靶材利用率高制造成本低等优势已然成为制备tco的主流工艺，而反应等离子体沉积

来源：平安证券2021-01-07

rpd：日本住友开发的反应等离子体沉积（reactive plasma deposition，rpd）是一种低温、低损伤的tco薄膜镀膜设备。

来源：pv-magazine2020-09-27

它是新的，但现在很普遍，并且与诸如单面反应性等离子体沉积（rpd）之类的替代方法相比，它具有许多优点。我们将ito 层放在电池的顶部，这很关键，因为层堆叠的导电性和透明度都很高。

来源：老成之见2020-08-17

rpd工艺亦有应用：在磁控溅射以外，反应等离子体沉积（rpd）工艺在tco镀膜中亦有应用。

来源：光伏测试网2020-05-27

③tco沉积包括rpd（反应等离子体沉积）和pvd（物理化学 气象沉积）两种方法。...rpd（反应等离子体沉积）技术主要由日本住友重工掌握，其设备匹配自己生产iwo(氧化铟掺钨)靶材制备iwo透明导电薄膜，其采用蒸发镀膜对衬底轰击较小，iwo薄膜电学性能明显优于 pvd 制备的ito薄膜

来源：华创证券2020-05-08

在工艺方面，目前主要采用 pvd（磁控溅射）和 rpd（反应 等离子体沉积法）两种方式，pvd 利用经过加速的高能粒子轰击靶材，使靶材表面的原子脱离晶格逸出沉积在衬底 表面发生反应而形成薄膜；rpd 法利用等离子体枪产生氩等离子体

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

电池生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；智能制造车间系统产品技术成熟，步入大规模产业化推广阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

来源：透视先进制造2020-03-16

目前精曜科技和日本住友正在推广反应等离子体沉积(rpd)制备方式，后者的rpd设备获得专利授权。目前捷佳伟创已获得住友重工（中国大陆地区）授权研发制造rpd设备。

来源：PV兔子2019-10-18

tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。住友重工拥有rpd的专利，而pvd技术发展成熟，提供给设备的厂家较多。

来源：光伏前沿2019-09-04

金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段，hjt整线生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

来源：光伏前沿2019-07-22

（3）tco膜制备①工艺汇总②量产信息汇总现阶段tco制备工艺主要为pvd直流磁控溅射工艺与rpd（反应等离子体沉积）工艺。

来源：摩尔光伏2019-06-18

a-si∶h接触，这为节省成本的基础上同时能保证效率的情况下提供一种方法;②提高栅线电极的纵横比，以减少光学损失和电阻损失;③采用高迁移率和低电阻率的tco层，并增大其光透过率，石建华等［54］利用反应等离子体沉积技术在低气压条件下制备了氧化铟锡

来源：能源技术2016-08-24

玻璃钢叶片的性能还可以通过表面改性、上浆和涂覆加以改进，例如采用射电频率等离子体沉积去涂覆玻璃钢叶片，其耐拉伸疲劳就可以达到碳纤维的水平，而且经这种处理后可以降低纤维间的微振磨损。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了sentech si500d等离子体沉积系统。

来源：全球光伏网2011-09-05

通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。此外，与市场中其他类型的pecvd相比，它具有优化的结构设计，故无需定期停机清洁腔体，确保了最长的连续运行时间。