来源：国家统计局网站2026-02-28

国产人工智能大模型深度求索（deepseek）引发全球关注，首例侵入式脑机接口临床试验成功开展，自主研制的国内首台低温大束流离子注入机具备产业化能力。年末全国共有国家质检中心874家。

来源：广西壮族自治区工业和信息化厅2026-02-28

已建成自治区级以上铝产业科技创新平台39家，在高纯铝、高性能铝合金材料、汽车轻量化用铝等方面突破24项核心技术，成功研发国内目前唯一量产应用在蚀刻机、薄膜沉积设备、离子注入机的半导体级铝合金产品，实现我国半导体设备铝合金

来源：国家统计局2026-02-28

国产人工智能大模型深度求索（deepseek）引发全球关注，首例侵入式脑机接口临床试验成功开展，自主研制的国内首台低温大束流离子注入机具备产业化能力。年末全国共有国家质检中心874家。

来源：广州市人民政府办公厅2026-01-08

依托黄埔、南沙、增城等区，着力补齐产业链空缺，集聚发展光掩膜、光刻胶、电子气体、高纯靶材等制造材料生产线及其产业链上下游，引进培育光刻、刻蚀、离子注入、沉积、清洗、检测设备等制造设备及零部件龙头企业。

来源：储能科学与技术2025-09-09

通过化学或电化学方法将额外钠离子注入正极材料，可有效补偿电池运行过程中的钠离子消耗，这种富钠化正极材料的开发已成为提升电池容量和能量密度的重要手段。此外，基于化学试剂的预钠化方法也取得了显著进展。

来源：湖南省工业和信息化厅2025-05-12

支持创新发展半导体装备，推动离子注入机生产制造等重点项目实施，优化升级外延生长设备和高温高能离子注入机技术，助力“三束”（离子束、分子束、电子束）装备研发迭代及产业化，打造国家半导体装备产业中心。

来源：北极星储能网2025-04-27

在工艺层面，华太电子攻克了超级结igbt制造过程中的一系列技术难题，包括晶圆处理、薄膜沉积、离子注入、退火处理等关键环节。

来源：安徽省工业和信息化厅2024-12-09

指导市、县强化补链项目谋划，加速引进培育一批创新研发活跃、细分市场领先的金刚线、高纯石英制品、导电浆料、封装胶膜、沉积设备、离子注入设备等光伏产业关键配套企业，重点布局储能电池制造装备、储能变流器、储能电池管理系统

来源：国家电投2024-11-29

差异化布局核技术应用产业，推动氢离子注入、医用同位素生产等创新成果加速转化。做强做优核环保产业，为国家电投集团核能产业发展提供支持保障。

来源：国家原子能机构2024-11-04

积极推动电子束辐射固化技术示范应用，重点加大高精密离子注入、大尺寸单晶硅辐照、高精密离子束溅射沉积、低损伤高精密离子束加工、高端离子膜制造等技术研究及应用推广，进一步推动同位素及其制品、射线装置在无损检测

来源：国家原子能机构2024-11-01

积极推动电子束辐射固化技术示范应用，重点加大高精密离子注入、大尺寸单晶硅辐照、高精密离子束溅射沉积、低损伤高精密离子束加工、高端离子膜制造等技术研究及应用推广，进一步推动同位素及其制品、射线装置在无损检测

来源：国家电投2024-10-12

差异化布局核技术应用产业，推动氢离子注入、医用同位素生产等创新成果加速转化。做强做优核环保产业，为国家电投核能产业发展提供支持保障。

来源：福建省人民政府2024-07-05

（4）材料和设备领域，发展封装类、制造类材料，及离子注入设备、分子束外延设备、半导体级检测设备等。2.先进装备制造。

来源：安徽省经济和信息化厅2024-05-13

指导市、县强化补链项目谋划，加速引进培育一批创新研发活跃、细分市场领先的金刚线、高纯石英制品、导电浆料、封装胶膜、沉积设备、离子注入设备等光伏产业关键配套企业，重点布局储能电池制造装备、储能变流器、储能电池管理系统

来源：金升阳2023-12-13

（二）高端导轨电源：高精度、低纹波经过单晶硅片制造后，进入薄膜沉积、光刻、离子注入等前道工艺。这时设备的工艺环境相对好一些，其设备电源更看重精度、纹波等参数。

来源：中来股份2023-05-25

作为国内率先选择topcon技术路线的企业，中来在装备的国产化方面投入了大量研发经费，包括第一台硼扩设备、第一台ald设备、第一台离子注入设备、第一台lpcvd设备、第一台popaid设备和第一台碱抛制绒设备

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：广东省工信厅2022-09-08

发挥省内集成电路和半导体制造企业带动作用，吸引高端装备龙头企业落户，支持本土优秀装备企业发展，研发生产硅基光电器件制造工艺和第三代半导体制造工艺用的沉积设备、刻蚀设备、离子注入、清洗设备、薄膜制备、检测量测等高端装备

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机、离子注入机

来源：工业水处理2022-04-22

1 水质及水量1.1设计水量及水质泰兴某光电建设规模为年产2.1 gw n型单晶双面太阳能电池，废水主要来自生产工序硅片制绒及清洗、扩散制结、湿法刻蚀、离子注入、退火、pecvd制氧化铝和氮化硅膜、丝网印刷