来源：安徽省工业和信息化厅2024-12-09

指导市、县强化补链项目谋划，加速引进培育一批创新研发活跃、细分市场领先的金刚线、高纯石英制品、导电浆料、封装胶膜、沉积设备、离子注入设备等光伏产业关键配套企业，重点布局储能电池制造装备、储能变流器、储能电池管理系统

来源：福建省人民政府2024-07-05

（4）材料和设备领域，发展封装类、制造类材料，及离子注入设备、分子束外延设备、半导体级检测设备等。2.先进装备制造。

来源：安徽省经济和信息化厅2024-05-13

指导市、县强化补链项目谋划，加速引进培育一批创新研发活跃、细分市场领先的金刚线、高纯石英制品、导电浆料、封装胶膜、沉积设备、离子注入设备等光伏产业关键配套企业，重点布局储能电池制造装备、储能变流器、储能电池管理系统

来源：中来股份2023-05-25

作为国内率先选择topcon技术路线的企业，中来在装备的国产化方面投入了大量研发经费，包括第一台硼扩设备、第一台ald设备、第一台离子注入设备、第一台lpcvd设备、第一台popaid设备和第一台碱抛制绒设备

来源：上海经信委2021-12-21

一是集成电路装备，瞄准光刻、刻蚀、湿法、沉积、离子注入、量测检测等工艺环节，推进先进光刻机、高端刻蚀机、晶圆清洗设备、离子注入设备、气相沉积设备、量测检测设备、先进封装设备等核心产品研发，在关键制程实现产业化突破

来源：北极星氢能网2021-07-16

装备材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子特气等基础材料产能和技术水平

来源：北极星储能网2020-06-03

重点为高端芯片产品（处理器芯片、存储器芯片、通信芯片、高端传感器芯片、模拟或数模混合芯片等）；高端集成电路装备产品（光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、湿法设备、扩散设备、抛光设备、离子注入设备、检测设备等）

来源：PV-Tech2015-08-20

左右，并且为太阳能电池应用推出其首个离子注入设备。...pws业务在2007年六月由4.75亿美元收购hct shaping systems形成，而solion离子注入业务来自收购varian semiconductor，其在离子注入设备占半导体市场的80%

来源：PV-Tech2015-02-09

多年来amtech一直是ecn的产业合作伙伴，并且通过旗下子公司kingstone semiconductor开发ionsolar离子注入设备。...最近，应用材料(applied materials)日前看到台湾和韩国客户吸收锂离子注入设备，尤其是用于n型单晶硅双面太阳能电池，预计启用离子注入技术的逾500mw新产能投入使用，用于高端太阳能电池。

来源：中证网-中国证券报2014-03-14

强化上游装备及材料领域产业优势，重点支持扩散设备、离子注入设备、等离子增强化学气相沉积设备、丝网印刷设备、电池组件测试设备等生产和检测设备，以及光伏镀膜玻璃、封装胶膜、新型电极材料等关键材料的研发和产业化

来源：广东省政府网站2014-03-13

强化上游装备及材料领域产业优势，重点支持扩散设备、离子注入设备、等离子增强化学气相沉积设备、丝网印刷设备、电池组件测试设备等生产和检测设备，以及光伏镀膜玻璃、封装胶膜、新型电极材料等关键材料的研发和产业化

来源：PV-Tech每日光伏新闻2013-12-13

然而，正如管理层在涵盖财务业绩的电话会议上指出，其两个ionsolar离子注入设备已经向客户出货，但是尚不清楚确认收入的时间。...由于该公司继续支持高效新一代太阳能电池技术的开发，该公司还正在向荷兰技术合作伙伴ecn出货三分之一的离子注入设备，其将用于与已经在研发中心开发的tempress扩散和沉积设备合作。

来源：《光伏产业观察》杂志2013-12-09

在等离子注入设备方面，我们与美国公司合作；3d打印代替丝网印刷方面，我们通过跟以色列合作的方式做研发。

来源：PV-tech2013-10-17

baccini(丝网印刷)和hct(硅片)的产品、防反射涂层/钝化工具，和近期通过收购获得现已被整合的瓦里安半导体设备公司(varian semiconductor equipment associates)的离子注入设备技术

来源：PV-Tech2013-09-30

baccini(丝网印刷)和hct(硅片)的产品、防反射涂层/钝化工具，和近期通过收购获得现已被整合的瓦里安半导体设备公司(variansemiconductorequipmentassociates)的离子注入设备技术

来源：光能杂志 刘海明2013-06-26

今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶炉，6～8英寸区熔硅单晶炉

来源：中国电子报2013-05-10

今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶炉，6～8英寸区熔硅单晶炉

来源：中国电子报、电子信息产业网2013-05-08

中国电子专用设备工业协会常务副秘书长 金存忠今年，制备高转换效率纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备、采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机、带二次加料装置并采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶炉

来源：中国电子报、电子信息产业网2013-05-08

今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶炉，6～8英寸区熔硅单晶炉

来源：中国电子报-电子信息产业网2013-05-08

今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶炉，6～8英寸区熔硅单晶炉