来源：广西壮族自治区工业和信息化厅2026-02-28

已建成自治区级以上铝产业科技创新平台39家，在高纯铝、高性能铝合金材料、汽车轻量化用铝等方面突破24项核心技术，成功研发国内目前唯一量产应用在蚀刻机、薄膜沉积设备、离子注入机的半导体级铝合金产品，实现我国半导体设备铝合金

来源：湖南省工业和信息化厅2025-05-12

支持创新发展半导体装备，推动离子注入机生产制造等重点项目实施，优化升级外延生长设备和高温高能离子注入机技术，助力“三束”（离子束、分子束、电子束）装备研发迭代及产业化，打造国家半导体装备产业中心。

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：广东省工信厅2022-09-08

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机、离子注入机

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机、离子注入机

来源：北极星储能网2022-01-24

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积tco（透明导电氧化物

来源：合肥市经济和信息化局2022-01-20

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积 tco（透明导电氧化物

来源：北极星风力发电网2021-07-23

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：上海市人民政府2021-07-22

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：安徽省经信厅2021-07-22

充分发挥阳光电源、晶澳、通威、隆基等现有龙头企业带动作用，汇聚整合上下游资源，完善离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉、等离子增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、卷绕镀膜设备等高性能太阳能电池与组件生产和测试仪器设备

来源：北极星氢能网2021-07-21

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等

来源：太阳能杂志2020-08-21

以目前已经实现国产化的n型电池用离子注入机为例，其内部所需的高压电源、真空泵、真空计等核心基础部件基本依赖进口，而恰恰是这些部件的采购费用占据了设备材料成本相当大的比重。

来源：湖南工信厅2020-02-10

发展离子注入机等集成电路装备，研发光刻机、刻蚀机等关键设备技术，提升集成电路国产化装备和成套建设能力和水平。布局新一代半导体产业。

来源：北极星电力网2018-11-22

推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。（责任单位：市经贸信息委、发展改革委、科技创新委）3．进一步增强产业配套能力。

来源：北极星储能网2018-11-20

推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。(责任单位：市经贸信息委、发展改革委、科技创新委)3.进一步增强产业配套能力。

来源：北极星风力发电网2018-11-19

推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。（责任单位：市经贸信息委、发展改革委、科技创新委）3．进一步增强产业配套能力。

来源：北极星电力网2017-12-27

重点研发12英寸及以上集成电路芯片用低能大束流离子注入机、化学机械抛光设备、激光消融设备、新一代电力电子器件制造用碳化硅高温离子注入机、高温金属有机化合物化学气相沉淀设备、八代以上面板用平板显示光刻机、

来源：北极星输配电网2017-12-27

重点研发12英寸及以上集成电路芯片用低能大束流离子注入机、化学机械抛光设备、激光消融设备、新一代电力电子器件制造用碳化硅高温离子注入机、高温金属有机化合物化学气相沉淀设备、八代以上面板用平板显示光刻机、

来源：合肥经信委2017-11-30

重点引进全自动大面积等离子增强化学气相沉积（pecvd）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积tco导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统