来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

除此之外，晶体硅太阳能电池生产过程中还涉及其他非关键的自动化等设备，如自动化装卸片机和自动化上下片机、硅片清洗设备等。al-bsf光伏电池片制造环节需要用到六大设备，这些设备均有国内供应商。

来源：评安机械PAJX2020-02-11

除此之外，晶体硅太阳能电池生产过程中还涉及其他非关键的自动化等设备，如自动化装卸片机和自动化上下片机、硅片清洗设备等。al-bsf光伏电池片制造环节需要用到六大设备，这些设备均有国内供应商。

来源：光伏资讯2014-12-12

多晶硅出来后，多晶硅的铸锭炉、单晶炉需求量更大，接着是破锭机、铸方设备、倒角抛光设备，硅片多线切割机、硅片清洗设备，等。可以看到，以上的装备量是非常巨大的。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

公司自主产品主要有全自动硅芯/硅棒/硅料/硅片清洗设备 、自动硅片脱胶设备、自动单/多晶硅链式制绒清洗设备、自动去磷硅玻璃清洗设备、自动石英管清洗设备、自动石墨舟清洗设备、非晶硅玻璃基片清洗设备等等。

来源：《光伏信息报》2011-11-14

硅片的产能决定着硅片清洗设备的市场容量，硅片清洗设备的市场容量约在1亿元人民币左右。

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。

来源：《中国电子报》2007-03-07

我认为，应该从中低端突破，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备。