来源：北极星太阳能光伏网2025-11-10

据悉，本项目为客户提供先进工艺设备（包括但不限于:玻璃清洗机、p1-p4激光划刻及清边设备、钙钛矿涂布设备、vcd干燥结晶、退火设备、pvd真空镀膜设备、低温蒸镀设备、高温蒸镀设备、原子层沉积系统等）、

来源：四川省经济和信息化厅2025-06-23

新型电子元器件及集成电路生产项目川化永鑫化工及能源装备智能制造生产基地项目翼胜科技总部及研发生产基地项目通瑞生物医药研发生产基地项目北京国科天成光电信息产业园西南总部基地项目东方妍美（成都）生物技术有限公司~总部基地建设项目国泰真空复合集流体真空镀膜设备研发生产基地项目中国川菜国际食品谷立昂云数据

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2025-05-06

目前，该公司在常州中试线 hjt 电池片平均转换效率达到 25.6%（isfh 标准），大腔室射频双面微晶技术实现全面量产；在钙钛矿技术上，大规格涂布设备、大尺寸闪蒸炉（vcd）及磁控溅射立式真空镀膜设备顺利出货

来源：北极星太阳能光伏网2024-12-17

此项目总投资23亿元，项目主要用于自主研发、设计、制造由迈为股份自主创新、行业首创的双面微晶异质结高效电池整线设备，包括pecvd真空镀膜设备、pvd真空镀膜设备、自动化设备等，可实现年产值近200亿元

来源：北极星太阳能光伏网2024-10-08

汇成真空广东汇成真空科技股份有限公司，长期专注于溅射镀膜技术、蒸发镀膜技术、离子镀膜技术、柔性卷绕镀膜技术以及成膜工艺的研究和应用，在真空镀膜设备领域取得了显著的优势和成果。

来源：人民日报2023-12-11

在隆基西安电池工厂，记者看到机器人将一叠硅片分片插入黑色卡槽中，再将卡槽推入真空镀膜设备。工作人员介绍，这个黑色卡槽被称为“石墨舟”，舟片隔开的一个个缝隙能装下464片硅片。

来源：宜兴市发展和改革委2023-12-06

加快发展溶液涂布设备、真空镀膜设备、丝网印刷设备、激光设备、等离子体化学气相沉积设备（pecvd）、扩散炉等光伏制造设备。到2025年，形成光伏组件产能11gw。持续开展分布式光伏应用示范。

来源：宜兴市发展和改革委员会2023-12-06

加快发展溶液涂布设备、真空镀膜设备、丝网印刷设备、激光设备、等离子体化学气相沉积设备（pecvd）、扩散炉等光伏制造设备。到2025年，形成光伏组件产能11gw。2.发展高附加值原辅材料配套产品。

来源：北极星太阳能光伏网2023-08-17

普乐新能源主要业务为：太阳能电池真空镀膜设备及其配件的研发、生产和销售；背接触封装绝缘层材料加工和销售；分布式光伏电站项目建设运营。

来源：北极星储能网2023-03-17

道森股份称，本次洪田科技在南通设立全资子公司，有利于其拓展真空磁控溅射设备、真空镀膜设备、复合铜箔一体机成套设备、锂电生箔机成套设备等业务，也符合道森股份整体长远发展战略规划。

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-21

公司拥有一支技术精湛、经验丰富的技术研发团队，成员均为博士、硕士在内的高科技人才，与诸多行业龙头、知名高校、工艺专家及科研院所等建立长期战略合作关系，主要提供高效硅基电池用清洗制绒设备、真空镀膜设备；钙钛矿电池组件

来源：北极星储能网2022-12-02

目前公司pet复合铜箔相关业务紧密推进中，已采购卷对卷磁控溅射真空镀膜设备、双边夹卷式水平镀膜线等设备将于近期交付；铝塑膜业务目前处于研发测试阶段。

来源：甘肃省人民政府2022-01-27

发展高性能真空获得设备、高端数控真空镀膜设备、大型智能化真空炉设备，以及生物医药、食品卫生、航空航天、核工业材料等真空专用装备，打造国内真空装备制造基地。——新能源汽车。

来源：河北省发改委2020-06-03

主要产品包括：光伏行业真空镀膜设备，平板显示行业真空镀膜设备，超硬材料行业真空镀膜设备，装饰材料行业真空镀膜设备，院校科研、军工特种行业真空镀膜设备。

来源：民生证券2020-05-15

其 pecvd 真空镀膜设备采用线性排布方式，通过 创新硅片传送方式以实现超大产能，可根据电源功率、气压、气体流量调节沉积成膜厚度。

来源：湖南工信厅2020-02-10

发展ic驱动芯片、ito靶材、真空镀膜设备等基础零部件、关键材料和关键装备，提升产业链整体配套能力。构建产业生态体系。

来源：光伏荟2020-01-16

瑞科已研制出拥有自主知识产权的核心真空镀膜设备，其中gvd、pvd-m设备为国内首创，填补了我国在该领域的空白。

来源：北极星氢能网2019-05-13

福宜真空从事高端真空镀膜设备及核心部件的研发、生产和销售，同时开展复杂镀膜工艺研究及镀膜技术服务。

来源：驰诚真空设备2013-10-10

真空镀膜设备的电气控制系统按位置分为控制柜、变压器组和操作台三个主要部分。