来源：广州市人民政府办公厅2026-01-08

3.智能传感器：针对工业互联网、大数据、物联网、人工智能、vr/ar等新一代信息技术快速发展的需求，重点攻关微机电系统（mems）、cmos等智能传感器核心技术，大力发展车规级传感器、智能终端传感器、智能装备传感器

来源：北极星储能网2025-09-04

储能”为核心发展方向，现有产品及布局领域包括： 一．新能源汽车核心部件领域，新能源混合动力汽车高压燃油箱系统，核心客户覆盖理想、零跑、奇瑞等主流车企； 二．半导体传感器领域，公司重点布局车规级mems（微机电系统

来源：国家电网报2025-07-03

该企业专注于射频前端、微机电系统（mems）传感器特种工艺半导体领域，产品应用于5g通信与移动终端、智能家电与工业控制、工业物联网等多个战略性新兴产业。

来源：国家电网报2025-01-14

2024年，中国电科院在宽频微机电系统加工技术（mems）自取能传感器、高性能磁敏材料和传感器核心组件等核心技术方面实现突破。

来源：国家电网报2024-12-24

近日获悉，由中国电力科学研究院有限公司牵头，国网四川省电力公司、中国科学院物理研究所、西安交通大学等9家单位和高校共同承担的国家重点研发计划项目“高灵敏微机电系统加工技术（mems）磁敏感元件及传感器”

来源：福建省工信厅2024-08-27

支持光学元件、微机电系统（mems）传感器、视频soc芯片等基础元器件研发应用。

来源：河南省人民政府2024-07-24

制定深化推进集成电路和半导体产业发展若干举措，加快建设智能传感器mems（微机电系统）研发服务、集成电路公共研发等高能级平台。出台支持生物医药、高端医疗器械及卫材等产业高质量发展若干措施。

来源：河南省人民政府2024-07-24

制定深化推进集成电路和半导体产业发展若干举措，加快建设智能传感器mems（微机电系统）研发服务、集成电路公共研发等高能级平台。出台支持生物医药、高端医疗器械及卫材等产业高质量发展若干措施。

来源：湖北省人民政府2024-07-05

重点发展原生多模态通用大模型、类脑智能、群体智能、aiforscience，加快神经元芯片、类脑芯片、ai算力芯片、智能传感器、高性能微机电系统等高端元器件研发，推进多模态模型、通用人工智能垂直领域模型在智能终端领域的应用

来源：广东省发展和改革委员会2024-02-01

推动建设mosfet（金属氧化物半导体场效应晶体管）、igbt（大功率绝缘栅双极型晶体管）、高端传感器、mems（微机电系统）、半导体激光器、光电器件等产线。

来源：国家电网报2023-12-27

项目组定向开展了铌酸钾钠基无铅压电材料性能调控、微机电系统压电传声器设计及低功耗无线通信模组等研究，全面突破了常规电容式传声器防水防尘性能不足的限制，研制出高耐候免维护噪声监测装置，实现了高端噪声监测装置的自主可控

来源：重庆市政府2023-12-01

车规级芯片重点发展系统级芯片（soc）、现场可编程门阵列（fpga）等主机芯片，微控制单元（mcu）控制芯片、绝缘栅双极晶体管（igbt）、金属氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）等功率类芯片和微机电系统

来源：国家电网报2023-11-03

国网智研院着力加强基础研究，推进未来电网形态、先进电工材料、人工智能等领域前沿技术研究；高质量实施微机电系统传感器“1025专项”任务攻关，深入推进可控换相换流阀（clcc）在特高压新建工程及换流站改造工程中的应用

来源：江西省工业和信息化厅2023-10-27

聚焦微机电系统（mems）、互补金属氧化物半导体（cmos）集成等工艺的新型智能传感器研发，逐步达到高精度、高可靠、低功耗、低成本的生产标准，前瞻性布局声学传感器、光学传感器、嗅觉传感器、触觉传感器等多模态感知传感器

来源：市场监管总局2023-10-13

积极推动智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键计量测试技术联合攻关，服务物联网、车联网、工业互联网建设。（十二）支撑碳达峰碳中和目标实现。强化长三角碳达峰碳中和计量体系的协调配合。

来源：湖北省人民政府2023-09-22

推进微机电系统（mems）公共技术服务平台、化合物半导体创新中心等服务平台建设，提升国家光电子信息产品质量监督检验中心、湖北省光电测试技术服务中心等平台服务功能。...聚焦新一代通信、高端装备、生物科技、智能科技等前沿领域，加强6g、量子通信、超高速光传输、化合物半导体、微机电系统（mems）、三维异质异构集成、忆阻器、量子点oled、激光跨尺度极端制造、三维多轴装备集成

来源：重庆市经信委2023-09-13

车规级芯片重点发展系统级芯片（soc）、现场可编程门阵列（fpga）等主机芯片、微控制单元（mcu）控制芯片、绝缘栅双极晶体管（igbt）、金属氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）等功率类芯片、微机电系统

来源：河南省发改委2023-08-07

加快智能传感器mems（微机电系统）中试平台建设。

来源：辽宁省人民政府2023-07-31

瞄准机器人、集成电路、生物医药、先进医疗装备等重点领域发展方向，开展标准微小力值、大规模芯片测试机、微机电系统（mems）传感器、光纤传感器、介入高电压等关键量值传递溯源技术研究，加快绝对法振动测量装置

来源：昆山市人民政府2023-07-14

设计端，重点发展面向云计算和人工智能的高能效计算芯片和新型存储器芯片、微机电系统（mems）传感器芯片、新一代功率集成电路、5g芯片、汽车电子芯片、显示驱动芯片等特色应用芯片。