来源：工信部2024-09-19

制造业中试平台重点方向建设要点（2024 版）重点方向：前沿材料建设要点：聚焦微纳加工与制备技术、化学气相沉积/原子层沉积技术、化学溶液合成技术、物理气相沉积技术、氨氢转换催化技术等关键共性技术，布局建设一批中试平台

来源：晟成光伏2023-10-17

原子层沉积技术在光伏、半导体领域均有着广阔的应用前景与良好的经济效益。...晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式sald的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层sno2膜层以及封装阻水层al2o3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试

来源：浙江新闻客户端2020-07-20

超级膜法团队以工业生产的高分子分离膜为基材，使用原子层沉积技术还原金属离子制备导电高分子—金属复合分离膜，产品具有过滤效果好、使用寿命长、清洁成本低等优点，直击纺织印染业废水处理成本高、处理效果差的痛点

来源：盖世汽车2018-09-28

除了燃料电池，原子层沉积技术还可实现下一代锂离子电池等一系列需要高性能材料的应用。”不仅燃料电池，传统电池也可从研究人员的新发现中受益。...大众汽车集团研究院的thomas schladt博士表示：“该技术对于汽车电池等应用也有益处，新研发改良的ald(原子层沉积技术)将把汽车整体提升到一个新水平。”

来源：中国材料进展2018-06-29

sunny等在电解液中添加一定量的碳 酸亚乙烯酯(vc)，利用原子层沉积技术(ald) 在si纳米颗粒表面包覆al2o3。

来源：能见Eknower2018-03-28

针对传统全固态电池中固体电解质和licoo2之间界面电阻高，接触不良的缺陷，solid power公司的科学家们使用ald(原子层沉积技术)来解决这个问题。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-08-30

微导自主知识产权的原子层沉积技术颠覆了沉积速度慢的传统观念，实现了太阳能晶硅电池的大批量生产。...这不仅仅超越了绝大多数晶硅电池工艺设备的产能瓶颈，也是原子层沉积技术实现真正意义上的大批量生产的重大突破，达到国际领先水平。

来源：能源情报2017-04-24

传统湿化法包覆三元材料，其包覆厚度和均匀性难以控制，kong等采用原子层沉积技术(ald)在523三元材料表面沉积了厚度仅为4.3nm的zno。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积技术，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，而支撑这一切从无到有的核心便是其背后强大的技术团队

来源：新材料在线2015-01-30

催化剂设计策略为：利用了一维mo2c纳米管优良的电子传输特 性以及mo2c在酸性环境中优异的抗腐蚀性能;通过原子层沉积技术(ald)可控地在mo2c纳米管表面均匀地沉积了直径为2~6nm的高活性pt纳米颗粒

来源：pv-magazine2015-01-07

美国amtech systems公司已自rena手中收购了p型perc和n型技术供应商solaytec。后者将通过amtech的荷兰子公司tempress被纳入集团框架。amtech表示这一收购对其2015

来源：pv-magazine2015-01-07

美国amtech systems公司已自rena手中收购了p型perc和n型技术供应商solaytec。后者将通过amtech的荷兰子公司tempress被纳入集团框架。amtech表示这一收购对其2015

来源：OFweek太阳能光伏网2013-11-12

最近几年，原子层沉积技术(ald)快速发展，它是一种类似cvd的化学沉积制备薄膜的方法。主要优点是制备的薄膜更加致密，缺陷更少，对衬底表面没有任何要求。

来源：《光伏产业观察》杂志2013-04-19

原子层沉积技术是一种有序的气相薄膜生长技术，具有良好的保形性、均匀性和高的台阶覆盖率。

来源：ne21.com2012-07-05

原子层沉积技术是一种有序的气相薄膜生长技术，具有良好的保形性、均匀性和高的台阶覆盖率，通过原子层沉积氧化铝薄膜对硅片表面进行钝化，可以大幅度提高太阳能电池效率，被业界普遍认为是未来新一代晶硅太阳能电池技术发展的重要趋势