来源:PV-tech2014-02-28
amtech表示,多笔订单包括扩散炉和一个用于加工更高效率太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积(pecvd)系统。...等离子体增强化学气相沉积用于钝化和抗反射涂层工艺,是电势诱发衰减(pid)保护的一个关键流程。amtech预计未来六个月内按订单出货。
来源:北极星太阳能光伏网(独家)2013-12-27
pecvd法按沉积腔室等离子源与样品的关系上可以分成两种类型:直接法:样品直接接触等离子体,样品或样品的支撑体就是电极的一部分。间接法:或称离域法。...待沉积的样品在等离子区域之外,等离子体不直接打到样品表面,样品或其支撑体也不是电极的一部分。北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名光伏pecvd设备企业,仅供参考。