来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统（mems

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统（mems

来源：广州市人民政府2022-06-02

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统（mems

来源：北极星环保网2022-05-31

推进河南省科学院重建重振与中原科技城、国家技术转移郑州中心融合发展，加快中铁装备地下工程装备技术创新中心、智能传感器（mems）产业共性关键技术创新与转化平台等建设。

来源：南宁市人民政府2022-05-26

抢抓新一代半导体制发展机遇，依托桂芯、科林集成电路封装测试项目和瑞声科技声学mems封测项目，实施特色存储芯片引进项目，突出特色，坚持不求大、不求最高工艺、务求实际可行的原则，在mems、mcu、mosfet

来源：南宁市人民政府2022-05-26

抢抓新一代半导体制发展机遇，依托桂芯、科林集成电路封装测试项目和瑞声科技声学mems封测项目，实施特色存储芯片引进项目，突出特色，坚持不求大、不求最高工艺、务求实际可行的原则，在mems、mcu、mosfet

来源：北极星电力网2022-05-20

兆驰光电器件及相关配套项目38 南昌大学国际材料创新研究院项目39 兆驰半导体rgb小间距显示模组项目40 江西美晨年产3000万台手机南昌生产基地建设项目（二期）41 正邦大数据生物医药科技产业园项目42 中昌逸晟科技mems

来源：北极星环保网2022-05-20

兆驰光电器件及相关配套项目38 南昌大学国际材料创新研究院项目39 兆驰半导体rgb小间距显示模组项目40 江西美晨年产3000万台手机南昌生产基地建设项目（二期）41 正邦大数据生物医药科技产业园项目42 中昌逸晟科技mems

来源：广州市人民政府2022-05-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...重点推进光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和mems光开关等关键器件的研发，积极推动电力电子、印刷电子产业化，加快部署量子元器件研发。

来源：重庆经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星电力网2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星储能网2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-07

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星环保网2022-05-07

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星储能网2022-05-06

保利通信科技产业园1731 海西高新技术产业园创新园四期1732 新型液晶显示器、新型电容屏及配套项目1733 马排商住地（国贸地块东侧）1734 万科科技园1735 建平商住地块1736 福建省元智信息科技有限公司mems

来源：艾睿光电2022-04-27

公司研发人员占比48%， 已获授权及受理知识产权项目共930件：国内专利及专利申请718件（包括集成电路芯片、mems传感器设计和制造、matrixiv图像算法和aitemp智能精准测温算法等）；国外专利及专利申请