来源：中华工控网2011-01-26

太阳能电池模块中的各项工艺制程主要包括单多晶硅的生成、切片机、清洗机、扩散炉、刻蚀机、镀膜机、印刷丝网、包装等，而这些设备的组成架构大多数为人机界面通过网络交换机与下端的plc进行沟通。

来源：招商证券2010-12-17

我们预计明年公司扩散炉和pecvd产值4-5亿(占国内市场25%份额)，按30%净利润率计算，可贡献1.2-1.5亿净利润，约0.2元eps。

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

郭永兴：经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：中华机械网2010-09-28

而电池片产能的扩张必然直接拉动对扩散炉的需求，因此a股上市公司中具备相关产能的七星电子最值得关注。

来源：中国电子报2010-09-25

而电池片产能的扩张必然直接拉动对扩散炉的需求，因此a股上市公司中具备相关产能的七星电子最值得关注。

来源：环球光伏网2010-07-22

该所研发的高温扩散炉和等离子刻蚀机两种产品，多年在国内市场占有率高达80%。紧跟国际最新技术，该所还率先在国内研制成功首台八英寸程控扩散炉、icp等离子刻蚀机等光伏关键装备。 　　

来源：互联网2010-01-22

其中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。但是，多晶电池绒面制作的制绒机与进口设备还有一定差距，用于周边刻蚀的激光刻阻机及湿法化学刻蚀设备尚未成功开发。

来源：中国电子报2009-03-19

据了解，目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

2006-09-05

由于准入门槛较低，部分国产设备，包括注入扩散炉、清洗机等在此行业取得了不小的成绩。随着国家半导体照明工程的启动及深入，led芯片设备的巨大市场再次引起了国内外半导体设备生产商的重视。 　　...其次，扩散炉已和国际中等水平相当，且性价比优势十分明显。 　　第三，刻蚀机距国际先进水平差距较大，但性价比优势明显。 　　第四，国产pecvd的工艺结果已接近世界先进水平，这是这种设备的优势。

2006-03-16

编辑点评 　　应给予国产设备更多关注 　　经过多年的发展，国产半导体设备行业已经取得了很不错的成绩：在半导体前道工序用扩散炉、快速热处理设备。

2005-08-22

对部分有望国产化的设备，比如扩散炉、部分清洗设备，在政策上鼓励用户选用，适当调整关税。另外，还应通过宏观调控控制二手设备的进口，给国内企业锻炼的机会，减少二手设备对国内设备市场的侵蚀。

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。

2004-10-15

信息产业部2001年度电子信息产业发展基金重点支持项目——8英寸立式扩散炉在北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司研发成功并已进入设备调试阶段。...在国际合作方面，北京七星华创电子股份有限公司与法国合资成立的生产数字及模拟质量流量计的七星弗洛尔公司已正式开业；与美国aviza公司也已签订合作意向，共同开发8英寸立式扩散炉市场。 　　

2004-08-30

信息产业部2001年度电子信息产业发展基金重点支持项目——8英寸立式扩散炉在北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司研发成功并已进入设备调试阶段。...亮点二：国际合作全面开花 　　在国际合作方面，北京七星华创电子股份有限公司与法国合资成立的生产数字及模拟质量流量计的七星弗洛尔公司已正式开业；与美国aviza公司也已签订合作意向，共同开发8英寸立式扩散炉市场

2003-07-31

距震中较近的冲电气公司宫城半导件厂，在地震中一些扩散炉的玻璃管发生了破裂。该厂是冲电气的半导体前工序生产厂。以扩散、光刻等工序为主。在半导体生产线中，较为精密的是光刻机。

2003-03-22

例如，东京电子在扩散炉设备方面就保留着炉体这一核心部件的技术。“因此我们研发的不是设备，就是那一两项关键技术”。 　　...经过多年的努力，国产前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等，后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等，材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备已经日渐成熟。

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。...宽禁带化合物半导体材料，新型互连材料等材料；努力掌握6-8英寸集成电路设备的制造技术；力争实现12英寸65纳米激光步进光刻机、大角度倾斜大剂量离子注入机、金属氧化物化学气相沉积设备，高密度等离子体刻蚀机、大尺寸扩散炉等重大关键装备的产业化