来源：北极星储能网2018-11-20

加快推进高端传感器、微机电系统器件等细分领域产业化。推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。...面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统(mems)光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星风力发电网2018-11-19

加快推进高端传感器、微机电系统器件等细分领域产业化。推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。...面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星储能网2018-10-31

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星电力网2018-10-30

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：江苏政府网2018-10-11

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星储能网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星电力网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星电力网2018-09-07

以张店、临淄、桓台经济开发区和高新区等四区结合部为重点，健全完善区域道路等基础设施体系，统筹供热、供电、供气、供水、污水处理等公用工程，布局燃料电池、新能源汽车、智能卡及微机电等未来产业，壮大新材料、高端装备制造

来源：北极星环保网2018-09-07

以张店、临淄、桓台经济开发区和高新区等四区结合部为重点，健全完善区域道路等基础设施体系，统筹供热、供电、供气、供水、污水处理等公用工程，布局燃料电池、新能源汽车、智能卡及微机电等未来产业，壮大新材料、高端装备制造

来源：中国科学报2018-07-11

近年来，可穿戴、便携式电子设备及微机电系统朝着轻薄短小、多功能集成方向快速发展，急需开发与其相配套的高能量密度、柔性化、微型化储能器件。研究团队发展了一种绿色环保的电化学剥离法一步制备出氟掺杂石墨烯。

来源：大连化学物理研究所2018-06-15

大连化物所全固态柔性平面锂离子微型电容器研究获进展近年来，可穿戴、便携式电子设备以及微机电系统(如微型机器人、微型传感器)正朝着轻薄短小、多功能集成的方向快速发展，极大地促进了现代社会对于高功率密度、高能量密度

来源：电联新媒2018-05-30

主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面的人才。就业前景：本科毕业后能从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面工作。...热门院校：四川大学 哈尔滨工业大学 北京师范大学080210t微机电系统工程培养目标：本专业是以机、电技术，尤其是微机械为基础的，综合多种学科领域技术的新型交叉学科。

来源：北极星输配电网整理2018-05-15

北方华创微电子的主要产品包括刻蚀、pvd、cvd、氧化/扩散、清洗、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏

来源：新华日报2018-04-28

中科院大学泰州大健康产业研究院10、哈工大机器人集团扬州科创研究院11、中科院物理所常州天目湖储能研究院12、常州国科微电子存储芯片设计研发中心（二）科创园区（8个）1、丹阳鱼跃生命科学产业园2、扬州清华微机电智能科技创业创新基地

来源：新华日报2018-04-28

中科院大学泰州大健康产业研究院10、哈工大机器人集团扬州科创研究院11、中科院物理所常州天目湖储能研究院12、常州国科微电子存储芯片设计研发中心（二）科创园区（8个）1、丹阳鱼跃生命科学产业园2、扬州清华微机电智能科技创业创新基地

来源：雷锋网2018-03-19

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：北极星风力发电网2018-02-24

积极发展人工智能，推动类脑研究，加快计算机视听觉、生物特征识别、新型人机交互、微机电系统、智能决策控制等应用技术研发和产业化。...淄博：布局新能源电池及新能源汽车、智能卡及微机电等未来产业，壮大新材料、生物医药、信息技术、文化旅游、现代金融等新兴产业，改造化工、陶瓷、纺织等传统产业，淘汰建材、钢铁等行业落后产能，打造全国老工业城市和资源型城市产业转型升级示范区

来源：山东人民政府网2018-02-23

积极发展人工智能，推动类脑研究，加快计算机视听觉、生物特征识别、新型人机交互、微机电系统、智能决策控制等应用技术研发和产业化。...淄博：布局新能源电池及新能源汽车、智能卡及微机电等未来产业，壮大新材料、生物医药、信息技术、文化旅游、现代金融等新兴产业，改造化工、陶瓷、纺织等传统产业，淘汰建材、钢铁等行业落后产能，打造全国老工业城市和资源型城市产业转型升级示范区

来源：北极星环保网2018-02-22

积极发展人工智能，推动类脑研究，加快计算机视听觉、生物特征识别、新型人机交互、微机电系统、智能决策控制等应用技术研发和产业化。...淄博：布局新能源电池及新能源汽车、智能卡及微机电等未来产业，壮大新材料、生物医药、信息技术、文化旅游、现代金融等新兴产业，改造化工、陶瓷、纺织等传统产业，淘汰建材、钢铁等行业落后产能，打造全国老工业城市和资源型城市产业转型升级示范区