来源：北极星电力网2016-11-29

五、民用航空航天行业（一）基础零部件（元器件）显示组件、惯性器件、大功率电离器件、航空传感器、智能蒙皮微机电系统、紧固件和轴承、soc/sip器件、微机电系统、激光陀螺仪、高精度、甚高精度光学敏感器、超高效

来源：北极星电力网2016-11-01

电子信息制造业重点发展方向集成电路及专用装备：高性能计算、服务器/桌面计算机中央处理器（cpu），半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统

来源：北极星环保网2016-11-01

电子信息制造业重点发展方向集成电路及专用装备：高性能计算、服务器/桌面计算机中央处理器（cpu），半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统

来源：北极星环保网2016-10-28

积极打造中国ic之都(合肥)，聚焦存储、驱动、射频芯片以及微机电系统(mems)等特色芯片，以设计和制造为核心，积极发展封装测试、专用装备和材料产业。...新型传感器方面，加快建设6英寸以上可控增益固态微光图像传感器(emccd)生产线，规划建设国际先进水平的8英寸微机电系统(mems)生产线。大力发展芯片设计业。

来源：北极星电力网2016-10-20

积极打造中国ic之都(合肥)，聚焦存储、驱动、射频芯片以及微机电系统(mems)等特色芯片，以设计和制造为核心，积极发展封装测试、专用装备和材料产业。...新型传感器方面，加快建设6英寸以上可控增益固态微光图像传感器(emccd)生产线，规划建设国际先进水平的8英寸微机电系统(mems)生产线。大力发展芯片设计业。

来源：北极星电力网2016-10-12

重点面向不同系统应用的半导体新材料、新器件、新工艺和新电路，研究开发低功耗器件和电路、微机电系统、20纳米以下新器件及系统集成工艺、射频芯片等关键技术。

来源：NE电气2016-09-30

本方面包括生物仪器，生物传感器，计算神经网络，生物医学超声学，微机电系统(mems)，神经系统中信号的传递与编码，高能粒子与生命物质的相互作用，高能粒子束与高能x光在治疗肿瘤中的临床应用。

来源：北极星环保网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星电力网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星电力网2016-09-19

大力发展mems(微机电系统)器件、智能传感器及敏感元器件、宽禁带半导体器件、微波器件、半导体功率器件等，推动新型半导体分立器件规模化发展。

来源：北极星输配电网2016-09-19

大力发展mems(微机电系统)器件、智能传感器及敏感元器件、宽禁带半导体器件、微波器件、半导体功率器件等，推动新型半导体分立器件规模化发展。

来源：北极星电力网2016-08-22

突破显示组件、惯性器件、大功率电力器件、航空传感器、智能蒙皮微机电系统、紧固件和轴承、soc/sip 器件、微机电系统等核心基础零部件(元器件)。

来源：北极星电力网2016-08-17

11.先进传感器及物联网开展8英寸微机电系统(mems)及传感器先导技术研发和中试，提升整体研发、设计和加工技术水平和产业技术创新能力。

来源：北极星风力发电网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星环保网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星电力网2016-08-16

以半导体芯片设计制造、集成电路和电子元器件封装测试、mems(微机电系统)传感器的研发和制造、高端引线框架为重点，建设兰州新区北大众志中国芯、华天集成电路封装测试升级改造、天光碳化硅器件研发及产业化项目等重大技术研发及产业化项目

来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。

来源：北极星输配电网整理2016-08-09

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。5.智能机器人。

来源：北极星环保网2016-06-27

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化;光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化;模拟及数模混合电路、微机电系统(mems)、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。