来源:摩尔光伏2018-05-28
目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等,其中激光psg掺杂法由于其工艺过程简单,从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线...3.2激光掺杂实验结果用四探针对激光扫描的2020mm的样片进行方块电阻的测量,然后四组实验在相同的工艺条件下进行洗磷刻蚀、pecvd镀减反膜、丝网印刷电极和烧结,制成成品电池片,并测试其电性能参数,不同激光功率对重掺杂区方块电阻以及最终对电池串联电阻的影响如表