来源：深圳市人民政府2022-06-30

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：深圳市工业和信息化局2022-06-21

到2025年，建设一条兼具量产能力的mems中试线，为高端mems传感器企业提供定制化、规模化加工服务，构建涵盖研发、中试及规模生产的完整mems产品技术创新链。（四）生态体系基本完善。

来源：江苏省发展和改革委员会2022-06-17

）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备...英寸晶圆及器件封测生产线建设项目中天射频电缆有限公司5g高端通信电缆建设项目中国船舶重工集团公司第七一六研究所通用视觉加速处理芯片技术研究项目江苏奥力威传感高科股份有限公司汽车传感器智能化生产线建设项目苏州和林微纳科技股份有限公司微机电（mems

来源：江苏省发改委2022-06-17

）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备...英寸晶圆及器件封测生产线建设项目中天射频电缆有限公司5g高端通信电缆建设项目中国船舶重工集团公司第七一六研究所通用视觉加速处理芯片技术研究项目江苏奥力威传感高科股份有限公司汽车传感器智能化生产线建设项目苏州和林微纳科技股份有限公司微机电（mems

来源：郑州市人民政府2022-06-16

加快推进超短超强激光平台、智能传感器（mems）平台、人工智能计算中心等科技基础设施建设。

来源：深圳市交通运输局2022-06-13

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：郑州市人民政府2022-06-13

提升mems传感器制造能力。...支持郑州高新区、郑州大学建设mems传感器中试研发平台，提供工艺设计研发、小批量生产、设备验证、检测检验等服务，补齐产业链加工制造环节短板，推动基于mems工艺的新型气体传感、压力传感、流量传感、红外传感

来源：重庆市招商局2022-06-10

mems传感器领域，瞄准压力传感器、惯性传感器、射频传感器、mems麦克风、红外传感器、气体传感器等市场用量较大的细分产品，引进一批设计公司和专业的制造公司、封测公司，快速形成产业集聚效应。

来源：重庆市招商局2022-06-10

mems传感器领域，瞄准压力传感器、惯性传感器、射频传感器、mems麦克风、红外传感器、气体传感器等市场用量较大的细分产品，引进一批设计公司和专业的制造公司、封测公司，快速形成产业集聚效应。

来源：北极星风力发电网2022-06-08

上海拜安传感技术有限公司（以下简称“拜安科技”）创始于2004年，是注册在上海张江自由贸易试验区的国家高新技术企业，拜安科技主营产品是以光纤光栅传感、分布式光纤传感以及mems光纤传感为主的智能光纤传感大数据存算一体系统

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统（mems

来源：广州市人民政府2022-06-06

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统（mems

来源：广州市人民政府2022-06-02

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统（mems

来源：北极星环保网2022-05-31

推进河南省科学院重建重振与中原科技城、国家技术转移郑州中心融合发展，加快中铁装备地下工程装备技术创新中心、智能传感器（mems）产业共性关键技术创新与转化平台等建设。

来源：南宁市人民政府2022-05-26

抢抓新一代半导体制发展机遇，依托桂芯、科林集成电路封装测试项目和瑞声科技声学mems封测项目，实施特色存储芯片引进项目，突出特色，坚持不求大、不求最高工艺、务求实际可行的原则，在mems、mcu、mosfet

来源：南宁市人民政府2022-05-26

抢抓新一代半导体制发展机遇，依托桂芯、科林集成电路封装测试项目和瑞声科技声学mems封测项目，实施特色存储芯片引进项目，突出特色，坚持不求大、不求最高工艺、务求实际可行的原则，在mems、mcu、mosfet

来源：北极星电力网2022-05-20

兆驰光电器件及相关配套项目38 南昌大学国际材料创新研究院项目39 兆驰半导体rgb小间距显示模组项目40 江西美晨年产3000万台手机南昌生产基地建设项目（二期）41 正邦大数据生物医药科技产业园项目42 中昌逸晟科技mems

来源：北极星环保网2022-05-20

兆驰光电器件及相关配套项目38 南昌大学国际材料创新研究院项目39 兆驰半导体rgb小间距显示模组项目40 江西美晨年产3000万台手机南昌生产基地建设项目（二期）41 正邦大数据生物医药科技产业园项目42 中昌逸晟科技mems

来源：广州市人民政府2022-05-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...重点推进光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和mems光开关等关键器件的研发，积极推动电力电子、印刷电子产业化，加快部署量子元器件研发。

来源：重庆经信委2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力