来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：格隆汇2020-10-13

无锡松煜科技有限公司是从事高端智能装备开发、生产、销售的光伏设备及半导体工艺设备制造商，目前主要产品为原子层沉积设备(ald)、扩散设备、氧化设备和pecvd设备。

来源：安信证券2020-10-13

perc即是随着al2o3介质膜产业化制备技术不断成熟，pecvd、ald等镀膜设备 出现后，厂家开始导入并快速扩张产能。hit设备投资较高，非晶硅镀膜占主要价值。

来源：太平洋证券2020-10-12

国产设备进口替代不断成熟， 此前宣城异质结项目的招标中，根据招标文件，迈为中标的 pecvd 产能已达到 8000 片/小时@m6。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网2020-09-30

公司主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、丝网印刷、自动化配套设备等晶硅太阳能电池生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售以及半导体清洗设备。

来源：pv-magazine2020-09-27

meyer burger通过其helia pecvd平台为a-si钝化部署了等离子体增强化学气相沉积（pecvd）。...该公司在pecvd工艺方面拥有丰富的经验，在最初的perc投资周期开始之时就广泛提供了该技术。

来源：安信证券2020-09-11

hjt 技术目前的主要问题在于与现有产线不兼容，新 产线设备以及银浆等辅材材料成本较高，性价比较差，但从当前时点看 hjt 降本路径较为清 晰，主要是通过 pecvd、pvd 等核心设备以及低温银浆材料的国产化实现

来源：摩尔光伏2020-09-08

0.6亿元的pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。...据媒体报道，近日，开盛新能源公布500mw异质结太阳电池生产线中标情况，包括迈为股份中标1.88亿元异质结整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计

来源：苏大光伏校友会2020-09-03

pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。...近日，开盛新能源公布500mw异质结太阳电池生产线中标情况，包括迈为股份中标1.88亿元异质结整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计0.6亿元的

来源：摩尔光伏2020-09-01

等离子增强化学气相淀积(pecvd：plasma enhance chemical vapour deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-08-28

在hjt电池的四大生产步骤中，第二道步骤的设备（pecvd）最为关键，成本占比也最高（约50%左右）。...目前，可以实现250mw以上规模化高转换效率稳定量产的pecvd设备生产商包括：梅耶博格（已不对外提供）、应用材料、迈为股份，而钧石、理想万里晖、捷佳伟创、金辰等企业也均在该产品上有很深的产品布局。

来源：东吴研究所2020-08-26

（来源：微信公众号“东吴研究所”id：scsresearch）8月25日安徽宣城公布500mw异质结太阳能电池生产线中标情况，包括迈为股份中标1.88亿元hit整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd...及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计0.6亿元的pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19

来源：北极星太阳能光伏网2020-08-25

的主要原因是管理人员增加及新设子公司管理人员增加等原因形成的;财务费用变动原因说明:财务费用本期下降了16.99%，主要原因是因为本期贷款增加利息支出增加形成;研发费用变动原因说明:研发费用下降了6.31%主要是因为本期hjt用pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-08-24

钧石能源致力于异质结技术与设备研发十余年，并拥有具有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备，是全球仅有的几家掌握高效异质结太阳能电池技术的企业之一。...gw异质结量产设备，专为最低运营成本而设计异质结工艺制程较短，共分为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备四个步骤，主要生产设备有清洗制绒机、pecvd、rpd/pvd以及丝网印刷机。

来源：太阳能杂志2020-08-21

singulus公司同样将业务重心转向perc电池用背钝化、激光开槽设备，hjt电池用湿化学和pvd设备，topcon电池用臭氧清洗、pecvd和pvd设备。...苏州迈为在稳固自身丝网印刷设备领先地位的同时，正在积极布局激光设备、异质结电池生产设备;捷佳伟创则布局智能自动化设备和丝网印刷设备;组件设备制造企业金辰股份也开始布局丝网印刷、pecvd设备。

来源：老成之见2020-08-17

pecvd：提效与降本之匙：pecvd作为支撑hjt电池关键工艺非晶硅薄膜沉积的设备，其质量与hjt电池转换效率紧密相关。...2.2pecvd：hjt设备降本的关键pecvd沉积薄膜的基本过程：pecvd技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜成分的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种制备技术。

来源：北极星太阳能光伏网2020-08-09

pecvd是23.5%，lpcvd是23%，这个是690毫伏的情况下，pecvd是710v，我们的一些合作伙伴已经在使用这样的工艺了。...我们也给大家看到了8个步骤的工艺流，也给大家看到了相关的属性和参数，以及低的计算吸收是因为更高的氧气的含量出现在多晶硅中，更薄的pecvd的多晶硅层是到120纳米，还有最好的效率是80到100纳米pecvd

来源：钧石能源2020-08-04

snec展会期间，钧石能源还将着重介绍异质结电池gw级生产装备，拥有自主知识产权，且专为大规模量产设计pecvd设备，可兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，每个in/ip模块的产能超过4,200w

来源：北极星太阳能光伏网2020-08-04

5月27日，金辰股份非公开发行募集资金金额不超过3.8亿元(含3.8亿元)用于年产40台(套)光伏异质结(hjt)高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。