来源：湖南工信厅2020-02-10

重点围绕信息通信、工业电子等应用领域，发展高性能、低功耗、低成本传感产品和敏感元器件，促进基于微机电系统等工艺的新型智能传感器研发，发展基于磁感、超声波等新原理的智能传感器。

来源：北极星电力网2020-01-07

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守)原则设计，采用计算机监控系统。

来源：北极星电力网2019-12-12

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守)原则设计，采用计算机监控系统。

来源：北极星电力网2019-10-31

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守)原则设计，采用计算机监控系统。

来源：北极星电力网2019-09-16

人工智能关键零部件方面，研发智能传感器及其集成关键技术，发展新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推进基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos）集成等工艺的新型智能传感器研发

来源：北极星环保网2019-07-30

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星电力网2019-07-16

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守）原则设计，采用计算机监控系统。

来源：北极星风力发电网2019-07-01

聚焦大尺寸、窄线宽晶圆制造环节，与国内外集成电路龙头企业共建idm模式为主的存储芯片生产线，继续做好国际先进工艺foundry（晶圆代工线）引进，推动mems（微机电系统）、化合物半导体等多品种、小批量特殊工艺线建设

来源：河北省工信厅2019-04-16

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：国家电网报2019-04-09

重庆大学电气工程学院陈伟根教授认为，基于微机电结构的传感器具有微型化、集成化、低成本、低功耗的特征，能够满足新一代电力系统传感器多参量、智能化、高精度、高可靠的要求。...近年来，中国电科院高度重视智能传感专业方向的布局，在光纤传感、微机电传感、电力物联网、感知大数据等领域开展了关键技术攻关，并取得阶段性科研成果。但泛在电力物联网对智能传感技术提出了更高需求。

来源：北极星储能网2019-02-12

大力发展生物三维(3d)打印技术、医用机器人、大型医疗设备、健康和辅助器械、可穿戴设备以及相关医疗mems(微机电)传感器件的研发,推动人工智能技术、脑机接口、虚拟现实等新技术在康复辅助器具产品中的集成应用

来源：北极星输配电网2019-02-11

大力发展生物三维(3d)打印技术、医用机器人、大型医疗设备、健康和辅助器械、可穿戴设备以及相关医疗mems(微机电)传感器件的研发,推动人工智能技术、脑机接口、虚拟现实等新技术在康复辅助器具产品中的集成应用

来源：北极星储能网2019-02-01

在智能传感器领域，以低功耗、小型化、高性能为目标，重点发展基于mems(微机电系统)工艺的新型生物、气体、光学等智能传感器和集成化传感器，加快污染监测、数字燃气、智慧水务等基于传感技术的智能物联研发及产业化

来源：北极星储能网2019-01-16

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星电力网2019-01-07

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：山东省人民政府2019-01-07

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星大气网2019-01-04

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星环保网2019-01-03

电子信息产业，重点发展集成电路及元器件、微机电系统（mems）及物联网、工业互联网及软件，打造融合创新、智能协同、安全可控的电子信息产业体系。2.大力加快传统行业动能绿色改造。

来源：北极星电力网2018-12-06

持续扩大芯片生产能力，积极引入微机电系统、射频电路等芯片制造先进生产线和先进工艺。依托大型企业建设集成电路封装测试平台，推动系统级封装，提升和完善集成电路芯片、模块、系统的测试水平。

来源：北极星电力网2018-11-22

加快推进高端传感器、微机电系统器件等细分领域产业化。推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。...面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。