来源：雷锋网2018-03-19

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：北极星风力发电网2018-02-24

积极发展人工智能，推动类脑研究，加快计算机视听觉、生物特征识别、新型人机交互、微机电系统、智能决策控制等应用技术研发和产业化。

来源：山东人民政府网2018-02-23

积极发展人工智能，推动类脑研究，加快计算机视听觉、生物特征识别、新型人机交互、微机电系统、智能决策控制等应用技术研发和产业化。

来源：北极星环保网2018-02-22

积极发展人工智能，推动类脑研究，加快计算机视听觉、生物特征识别、新型人机交互、微机电系统、智能决策控制等应用技术研发和产业化。

来源：国家知识产权局2018-02-02

国家知识产权局2018年1月17日一、智能制造产业部分：3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备二、有关于可再生能源部分

来源：北极星电力网2018-01-30

3.2.2 关键智能基础零部件3.2.3 智能加工、先进工艺和重大智能成套装备3.3 光电子制造关键装备3.3.1 新型光通信器件制备3.3.2 半导体照明制备3.3.3 高效光伏电池制备3.3.4 微机电系统传感器制备

来源：北极星环保网2018-01-26

3.2.1智能测控装置3.2.2关键智能基础零部件3.2.3智能加工、先进工艺和重大智能成套装备3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备

来源：北极星环保网2018-01-16

集成电路：研发半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc）、基于12英寸生产线的20nm级芯片、电力电子芯片，射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装、3d微组装技术，大硅片、光刻胶

来源：北京日报2017-12-26

发展高性能光纤传感器、视觉传感器、微机电系统传感器、多参数复合传感器等工业用高端传感器。发展面向复杂工况的工业过程在线分析检测仪器。支持智能变送器、仪器仪表的研发和产业化。

来源：工信部2017-12-15

发展市场前景广阔的新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推动压电材料、磁性材料、红外辐射材料、金属氧化物等材料技术革新，支持基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos

来源：物联网资本论2017-11-06

公司还提供微机电系统(mems)传感器技术平台，能够打造集射频、基带、微处理器、嵌入式闪存、微机电系统传感器于一体的单芯片系统(soc)、系统级封装(sip)、晶圆级封装(wlp)、2.5d封装等一站式服务

来源：河北省发改委2017-07-10

（4）第三代半导体材料及关键技术产业化，专用集成电路、工业控制软件，微机电系统技术研发及产业化。

来源：北极星风力发电网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（

来源：北极星环保网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（

来源：北极星电力网2017-03-24

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统(

来源：头条号/信立科技2017-03-13

提供精确可靠的产品，包括助听器元件、mems（微机电系统）麦克风、扬声器、受话器、传感器、电容器、振荡器等。

来源：北极星环保网2017-02-24

在制造环节，加快45nm/32nm/28nm先进工艺芯片的研发及产业化，引进和吸收先进生产制造工艺，推动22/20nm、16/14nm等先进生产线建设，发展先进高压电路、数模混合集成工艺、微机电系统(mems

来源：北极星电力网2017-02-23

强化物联网关键环节技术攻关及产业化，主要包括微机电系统、传感器、组网技术、共性支撑技术等，建设四川物联网中心。软件支撑能力提升工程：推动基础软件核心关键技术突破，加快新兴领域基础控制及应用软件发展。

来源：北极星电力网2016-12-08

重点突破高性能光纤传感器、微机电系统(mems)传感器、视觉传感器、分散式控制系统(dcs)、可编程逻辑控制器(plc)、数据采集系统(scada)、高性能高可靠嵌入式控制系统等核心产品，在机床、机器人

来源：新华网2016-12-08

以微机电系统技术为基础的智能传感器发展水平已成为衡量一个国家是否具有国际竞争优势的重要标志。