来源：PV-Tech2011-07-14

砖块制备设备可同时对相互平行的两块硅砖进行加工，年产量可达4万块。...而砖块制备设备则可将这些硅砖准确切割成相应的长度，而这些硅砖则随后被制成硅片。

2006-03-16

清洗机、匀胶显影设备等；后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等；材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备，其中一些国产设备已经日渐成熟，并且已经有设备被用到国内集成电路生产线中。 　　

2005-01-28

技术水平越来越高 　　一般意义上讲，半导体专用设备包括晶片制备设备、掩膜版制备设备、芯片制造设备、封装测试设备、在线工艺检测及理化分析设备等，广义上讲还应包括半导体生产所需的净化设备、各种专用工模具及有关试验设备等

2004-10-15

大部分单位从事序和后工序设备研制，材料制备设备、净化设备、半导体专用工模具、检测设备、试验设备和半导体设备零部件也各有一些单位在研究和生产。一些企业已开始在中国设厂，为行业的发展注入了活力。 　　

2004-08-30

大部分单位从事前工序和后工序设备研制，材料制备设备、净化设备、半导体专用工模具、检测设备、试验设备和半导体设备零部件也各有一些单位在研究和生产。...从销售角度分析，国产半导体设备的服务方向虽仍以一些院校和研究所中的科研型集成电路生产线以及半导体分立器件、led、太阳能电池、saw、电力电子等其他应用半导体设备的领域为主，但部分材料制备设备(6英寸单晶炉

2004-03-29

目前，我国大型工程项目核心仪器全部依靠进口；全国各类科研经费有一半左右用来购置进口仪器，研究所、高校，以及国家、地方重点实验室所用的科学仪器，不论是材料制备设备还是测量仪器大部分都是进口的。

2003-03-22

经过多年的努力，国产前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等，后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等，材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备已经日渐成熟。