来源：北极星环保网2022-11-24

城市药业年产150吨盐酸普鲁卡因等原料药项目448 年产20000吨锂电池极片涂覆用勃姆石建设项目449 淮上区合荣年产3万台防爆电器及智能防爆系统项目450 消防产品研发生产能力提升建设项目451 经开区mems

来源：安徽省人民政府2022-11-23

贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司完成人：song fuquan，卢志国3．测试数据调整及间接存储的集成电路测试方法及应用完成单位：安庆师范大学，池州华宇电子科技股份有限公司完成人：詹文法，江健生4．cmos-mems

来源：湖北省市场监督管理局2022-11-15

二、环境感知技术研究:微机电系统(mems)执行器、mems激光雷达、mems智能感知微系统等。三、生物医学传感技术研究:柔性无创高清三维内窥实时成像技术、肿瘤手术中高特异性快速成像技术等。

来源：北极星储能网2022-11-10

资料显示，北京赛微电子股份有限公司以半导体业务为核心，一方面重点发展mems工艺开发与晶圆制造业务，一方面积极布局gan材料与器件业务。...主要产品及业务包括mems芯片的工艺开发及晶圆制造、gan外延材料生长与器件设计，下游应用领域包括通信、生物医疗、工业科学、消费电子等。

来源：绍兴市人民政府2022-11-09

重点开展面向通讯、物联网、新能源汽车、消费电子、家电等行业领域的芯片设计，在功率器件、mems传感器、rfid等感应器件、fpga、igbt、mcu等核心芯片设计领域实现突破。——设备辅材。...面向5g通信、物联网、消费电子、工业电子等领域的芯片设计与研发；新一代封装测试及关键装备和材料、功率半导体器件封装基板高精密蚀刻技术；微机电系统（mems）、功率器件等特色工艺集成电路的制造、封装、测试及模组生产工艺研究

来源：绍兴市人民政府2022-11-09

重点开展面向通讯、物联网、新能源汽车、消费电子、家电等行业领域的芯片设计，在功率器件、mems传感器、rfid等感应器件、fpga、igbt、mcu等核心芯片设计领域实现突破。——设备辅材。...面向5g通信、物联网、消费电子、工业电子等领域的芯片设计与研发；新一代封装测试及关键装备和材料、功率半导体器件封装基板高精密蚀刻技术；微机电系统（mems）、功率器件等特色工艺集成电路的制造、封装、测试及模组生产工艺研究

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。

来源：北极星储能网2022-10-24

北极星储能网获悉，10月20日，吉利科技集团与华润微电子签订合作协议，双方将构建车规级功率半导体产业合作机制，基于功率模块、mems传感器、面板级封装等产品或技术推出联合解决方案，实现优势互补，推动提升新能源汽车

来源：池州市人民政府2022-10-17

针对电动汽车充电桩、尘埃粒子计数器、标准电阻、静电放电发生器、示波器校准仪等计量需求，在晶圆制造、封装与测试技术、mems红外热电堆温度传感器芯片等半导体产业以及轻合金材料产业等方面开展计量测试技术研究和成果转化...针对电动汽车充电桩、尘埃粒子计数器、标准电阻、静电放电发生器、示波器校准仪等计量需求，在晶圆制造、封装与测试技术、mems红外热电堆温度传感器芯片等半导体产业以及轻合金材料产业等方面开展计量测试技术研究和成果转化

来源：湖南省人民政府2022-10-17

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究。针对智能、在线、网络计量收费广泛应用趋势，开展在线、网络计量计费系统价格监测计量技术研究与应用。18．服务健康产业发展。

来源：山东省政府2022-10-11

开展集成电路、微机电系统（mems）传感器、北斗导航系统等关键参数计量测试技术研究，加快计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。

来源：无锡国家高新技术产业开发区2022-09-29

2018年中国十大半导体企业，华润上华mems器件项目获2019年国家科技进步奖二等奖，芯朋微电子、中感微电子两款芯片入围第十四届“中国芯”优秀产品名单，智驰华芯的mems传感器成功应用在天琴一号卫星上

来源：北极星电力网2022-09-26

；mems加速度传感器采用微加工的方式，用于采集质点加速度，可用于电力系统振动环境的监测。...例如，通过采用微型红外传感器来检测气体和温度，即根据红外光谱吸收原理，可以用于检验gis器件的sf6泄露情况；利用mems纤毛式矢量水听器，可用于架空线路风向、风速监控，杆塔倾斜以及导线舞动等环境状态的监控

来源：鹤壁市人民政府2022-09-23

以智能传感器为方向，抓住纳入全省“一谷六园”布局契机，发展基于微机电系统（mems）的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，打造智能传感器设计、制造和封装产业链

来源：南方电网报2022-09-21

在mems传感器方面，工业控制、消费电子、汽车电子等领域应用十分广泛，早在2019年国内mems传感器市场规模就达到了597.8亿元。...，敏感器件与国内自主研发企业和科研单位合作设计开发，实现了核心mems传感元件的全国产化。

来源：广东省工信厅2022-09-08

实现集成多维度信息采集能力的高端传感器开发，重点发展新型微机电系统（mems）传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。

来源：河北省人民政府2022-09-02

发展模拟及数模混合电路、高端传感器、微电机系统（mems）、大功率器件、高电压电路、微波射频电路等特色专用工艺生产线。引进发展集成电路封装测试知名企业，培育壮大产业规模和竞争实力。现代通信。

来源：江苏省人民政府2022-08-26

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。