来源：山东省政府2022-10-11

开展集成电路、微机电系统（mems）传感器、北斗导航系统等关键参数计量测试技术研究，加快计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。

来源：无锡国家高新技术产业开发区2022-09-29

2018年中国十大半导体企业，华润上华mems器件项目获2019年国家科技进步奖二等奖，芯朋微电子、中感微电子两款芯片入围第十四届“中国芯”优秀产品名单，智驰华芯的mems传感器成功应用在天琴一号卫星上

来源：北极星电力网2022-09-26

；mems加速度传感器采用微加工的方式，用于采集质点加速度，可用于电力系统振动环境的监测。...例如，通过采用微型红外传感器来检测气体和温度，即根据红外光谱吸收原理，可以用于检验gis器件的sf6泄露情况；利用mems纤毛式矢量水听器，可用于架空线路风向、风速监控，杆塔倾斜以及导线舞动等环境状态的监控

来源：鹤壁市人民政府2022-09-23

以智能传感器为方向，抓住纳入全省“一谷六园”布局契机，发展基于微机电系统（mems）的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，打造智能传感器设计、制造和封装产业链

来源：南方电网报2022-09-21

在mems传感器方面，工业控制、消费电子、汽车电子等领域应用十分广泛，早在2019年国内mems传感器市场规模就达到了597.8亿元。...，敏感器件与国内自主研发企业和科研单位合作设计开发，实现了核心mems传感元件的全国产化。

来源：广东省工信厅2022-09-08

实现集成多维度信息采集能力的高端传感器开发，重点发展新型微机电系统（mems）传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。

来源：河北省人民政府2022-09-02

发展模拟及数模混合电路、高端传感器、微电机系统（mems）、大功率器件、高电压电路、微波射频电路等特色专用工艺生产线。引进发展集成电路封装测试知名企业，培育壮大产业规模和竞争实力。现代通信。

来源：江苏省人民政府2022-08-26

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：重庆市人民政府2022-07-26

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市人民政府2022-07-26

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星碳管家网2022-07-19

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市人民政府2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：北极星环保网2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：深圳市人民政府2022-06-30

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：深圳市人民政府2022-06-30

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：深圳市人民政府2022-06-30

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：深圳市工业和信息化局2022-06-21

到2025年，建设一条兼具量产能力的mems中试线，为高端mems传感器企业提供定制化、规模化加工服务，构建涵盖研发、中试及规模生产的完整mems产品技术创新链。（四）生态体系基本完善。