来源：华泰电新2021-05-08

topcon实现隧穿氧化层有4条路线，传统pecvd还是要解决成本的问题，用lpcvd等等都出现良率、效率等问题，新技术爆发初期问题都是比较多的。需要站在电池+组件的角度，实现最终的经济性。

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

报告期内，捷佳伟创自主研发的首台国产大产量rpd5500a设备和异质结关键设备板式pecvd先后出厂交付。...主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-28

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...4月6日金辰股份发布公告称，非公开发行股票申请获得通过，公司拟募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：pv-magazine2021-04-14

工艺步骤还包括高温退火并通过等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）在电池的两侧应用氮化硅（sinx）层。...研究人员sebastian mack告诉《光伏》杂志：“目前，额外的氢化步骤确实会增加额外的成本，因为必须使用另一种pecvd工具来两次沉积后氮化硅（sinx）层。

来源：苏大光伏校友会2021-04-09

（来源：微信公众号“苏大光伏校友会” id：supvaa）目前该基地出片速度已提升至每小时1200片，后期将逐步提升；另外产品技术方面也取得重大突破，其中pecvd工序在一定条件下电池核心性能少子寿命平均突破...项目一期第一条线主要以进口设备为主，采用启威星的清洗制绒设备、美国应用材料的pecvd设备、捷佳伟创的rpd设备、应用材料的丝网印刷设备，对应电池产能220mw；第二条线为国产设备，对应产能260mw，

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-07

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...据悉，金辰股份此次拟非公开发行不超过3173.38万股股票，募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：北极星太阳能光伏网2021-03-29

新购置制绒清洗设备、 pecvd 设备、pvd 设备、丝网印刷线机、划片串焊设备、叠焊机、 层压机等生产及辅助设备885 台/套，项目主导产品为n型高效太阳能电池组件。

来源：集邦新能源网2021-03-24

-1.5亿元左右，topcon投资约2-2.5亿元左右，而hjt投资额在4-4.5亿元左右，但单gw perc改造为topcon金额约6000-8000万元左右，主要新增设备为非晶硅沉积的lpcvd/pecvd

来源：钧石能源2021-02-08

钧石能源自主研发的pvd设备经过多年的潜心研发与改进，钧石能源拥有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备技术，主要设备pecvd、pvd等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求

来源：集邦新能源网2021-02-02

值得注意的是，虽然某些工序/设备名称一样，但是实际区别较大，例如pecvd设备，pecvd全称为等离子体增强化学气相沉积法（plasma enhanced chemical vapor deposition

来源：集邦新能源网2021-01-29

单线产能中位数从200mw提升至500mw，这主要来源于主要设备企业对于pecvd生产节拍瓶颈的突破。...通威10月份发布1gw异质结招标结果，其中迈为提供的核心设备pecvd的生产节拍高达8000片/小时，对应182电池片年产能510mw。单gw设备投资额下降至4.5亿。

来源：SOLARZOOM2021-01-13

而到了2020年上半年，则关于18x的讨论开始增多——硅片、电池片企业经过技术探索发现，单晶拉棒炉、管式pecvd等设备经过改造后最大可以满足18x的尺寸。

来源：集邦新能源网2021-01-12

非晶硅沉积环节，射频化学气相沉积（pecvd 工艺的一种）的材料成本约 0.03~0.04 元/片。

来源：打板战线2021-01-11

捷佳伟创：国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备供应商，主要产品是管式pecvd，罐式高温扩散炉，单多晶制绒设备。北方华创：泛半导体领域的刻蚀机，pvd,cvd扩散炉等，广泛应用于光伏，半导体

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

国产大通量低成本pecvd的突破将成为hit产业化的发令枪。捷佳伟创是太阳能电池片龙头，主要产品包括pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等。...凭借领先的pecvd设备，有望受益于近几年perc电池产能扩张周期。此外，公司积极研发n型电池片设备(制绒清洗和tco设备等),长期业绩值得看好。

来源：平安证券2021-01-07

2020年12月，捷佳伟创pecvd5500设备出厂交付；迈为股份发布新一代pecvd，产能达到8000片/h。...从反应腔角度，pecvd可以分为单真空和双真空结构；从传输角度，pecvd可以分为滚轮传输和机械手传输。单真空vs双真空：单真空是一个开放式的腔体，镀膜时，等离子体充满全部腔体。

来源：光伏新闻2020-12-31

该企业在炭炭材料一件难求的前提下，对pecvd设备的采购按下暂停键，说明该企业对未来的炭炭材料市场不看好。...三、某炭炭龙头紧急刹车10月底，某龙头企业在西安举行了14台pecvd沉积炉的招标工作，招标完没几天，该企业就对这14台沉积炉的采购进行了暂停，什么时候开始进行，光伏新闻暂时还没收到消息。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-21

据其半年报显示，迈为股份在hit国产设备上率先突破丝印设备、成功研制板式pecvd，并具备整线供应能力。不仅在光伏激光设备领域订单有一定幅度增加，并在oled激光设备领域也取得关键性突破。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-07

苏州太阳井新能源有限公司新建900片/年太阳能硅片金属化研发实验室项目、艺丰光电年产1亿片8.8英寸太阳能级晶硅片生产线技术改造项目、无锡琨圣科技年产150台套太阳能硅片topcon制绒清洗、链式清洗、扩散、lpcvd、pecvd

来源：捷佳伟创2020-11-23

捷佳伟创作为光伏设备行业的领先企业，在perc电池设备技术上已建立明显领先优势，在perc+环节通过与客户深度合作已取得突破；在高效hjt环节，包括rpd系列和先进pecvd在内已具备电池设备整线交付能力