来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：中国电子报2011-07-14

德国roth&rau公司、otb公司、日本导津公司：平板pecvd设备国际领先。

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-17

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd...设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：证券市场周刊2011-06-13

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台物理气相沉积炉设备(太阳能光伏组件生产系统新组装完备设备、工具及机械的核心设备)。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。

来源：中国电子报2011-01-11

pecvd设备的投资占据总投资生产线的30%以上。目前硅基薄膜电池的制备主要包括多室和单室的pecvd技术。

2006-09-05

特别是2003年七星华创以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造用最关键设备之一——热壁式生产型pecvd设备，使我国设备业已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。 　　

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。

来源：《中国电子报》2007-03-07

正是在这种理念的引导下，他们研制成功了pecvd设备。事实上，他们研究薄膜淀积技术和相关设备已多年，以前的pecvd设备主要应用于ic行业。