来源：深圳市龙华区人民政府2023-07-18

引进培育led产业mocvd外延设备、高端芯片、mini/microled等关键领域的研发制造企业，加快补齐led产业链短板、延长价值链高端环节。...推动技术合作，开展microled用新型mocvd技术研发，支持有机发光材料研发与产业化，将龙华区打造为led产业研发创新高地。重点突破高效制冷核心技术。

来源：安徽省经信厅2023-07-17

金属超硬质镀膜机、活塞七工位装环机、高压伺服注塑机、高速喷墨砂型打印机、高强度钢热成型冲压生产线、高端轴承智能加工生产线、电梯上坎辊轧及自动拉铆线、电桥总成系统智能装测生产线、等离子体抛光装备、等离子辅助卷对卷cvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-07-17

此次进场设备包括pecvd主机及其自动化，以国内先进性设备为引领，起步即与未来同步。

来源：中国光伏行业协会2023-07-04

、管式pecvd、印刷机、单晶炉、串焊机、层压机、检测及自动化设备等已基本实现全国产化，并进行不同程度的出口。...我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉、氧化退火炉、lpcvd

来源：中国光伏行业协会CPIA2023-07-03

、管式pecvd、印刷机、单晶炉、串焊机、层压机、检测及自动化设备等已基本实现全国产化，并进行不同程度的出口。...我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉、氧化退火炉、lpcvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-28

249,988.80 万元（含本数），扣除发 行费用后的净额拟投资于以下项目：本募投项目的产品应用领域为光伏行业，主要产品为 hjt 电池 4 道工序中的核心 设备、光伏组件及光伏自动化设备，具体包括制绒清洗机、pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-25

合同标的为topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式扩散氧化退火炉等。设备交付时间为2023年7月10日开始到货，60天完成设备全部到货。

来源：江苏省工业和信息化厅2023-06-20

新一代光伏技术与装备：围绕高转换效率、高功率电池发展方向，重点研发适用于下一代太阳能电池技术的新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-14

topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备交付时间为2023年6月30日，第一台设备进厂，后续按照双方约定陆续交付。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-06-07

据悉，为产品可持续性，英发早在宜宾一期便建设了整条topcon中试线，包含了市场主流lpcvd和pe-poly，两种路线工艺都已完成通线。仅用了一个月的时间，实现了从出片到完成效率目标。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-06-05

正猛攻组件市场的通威太阳能，在 topcon 技术路线方面，基于自主研发成功的行业首条大尺寸 pecvd poly 技术产线，全面推出 tnc 电池产品，预计2023年下半年产能将达到 25gw。

来源：英孚康2023-05-30

目前已经实现包括生长炉、泛线切类设备、清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd、电池片自动化设备、串焊机、层压机等设备的全面覆盖。

来源：普达特科技2023-05-30

同时，普达特还基于半导体清洗设备向cvd设备延伸，公司目前已展开针对逻辑/存储等应用的设备设计，预计2023年第四季度完成cvd设备样机的生产与调试，至2024年时实现对标顶级厂商的设备量产。

来源：中来股份2023-05-25

作为国内率先选择topcon技术路线的企业，中来在装备的国产化方面投入了大量研发经费，包括第一台硼扩设备、第一台ald设备、第一台离子注入设备、第一台lpcvd设备、第一台popaid设备和第一台碱抛制绒设备

来源：集微网2023-05-19

而与普通pid温控器不同，半导体生产设备中许多环节，比如扩散、氧化、刻蚀、pecvd等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法，以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。

来源：北极星电池网2023-05-06

加快金刚石cvd制造技术的开发及应用,探索和储备金刚石在电子信息、光学、热学等新型功能应用技术,积极推动大单晶在第三代半导体领域规模化应用。

来源：山西省人民政府2023-04-28

运城纳博科高性能环保新材料项目126 中科美锦年产1000吨淀粉基电容炭产业化一期项目127 运城永东化工煤焦油精细加工及特种炭黑综合利用项目128 壶关高测年产4000万km金刚石线项目129 晋城国脉金晶mpcvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-04-27

在n型赛道上，通威是业内最早一批投入gw级 hjt和topcon中试线的企业，2022年，基于自主研发成功的行业首条大尺寸 pecvd poly 技术产线，通威推出 tnc电池；hjt技术方面，通威建立了行业首条

来源：山西省政府2023-04-25

中科美锦年产1000吨淀粉基电容炭产业化一期项目 太原市127 运城永东化工煤焦油精细加工及特种炭黑综合利用项目 运城市128 壶关高测年产4000万km金刚石线项目 长治市129 晋城国脉金晶mpcvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-24

该项目在集合异质结电池生产工艺特性的基础上，择优性价比更高的210规格硅片、cvd搭载双面微晶设备、pvd采用更高性能靶材材料与之匹配，为成功实现转化效率突破25%提供更优工艺基础。