来源：PV-Tech2013-04-01

其中新增的太阳能电池生产设备包括：太阳能级单晶炉(投料量150kg)、太阳能级多晶铸锭炉(一次投料量800kg)、扩散炉(多晶、单晶，尺寸：156mm156mm)、铜铟镓硒(cigs)薄膜太阳能电池硒化

来源：北极星太阳能光伏网2012-12-25

多晶硅铸锭炉、多线切割机等设备制造技术取得重大进步，打破国外产品的垄断，有些设备开始出口，如扩散炉、层压机等。...其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。

来源：中国电子报2012-12-04

他们很快推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，并连续多年取得国内市场占有率80%的佳绩。在此基础上他们乘胜追击，开发成功太阳能电池制造7道主要工序的所有工艺设备，市场覆盖全国，并出口20个国家和地区。

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。...七星电子研发的ssd8571a扩散炉，采用了高精度、智能化、多点控温技术，保证了对炉内温度控制的快速稳定，确保了控温数据的快速反应以及准确性。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-07

经过多年的努力，扩散炉已经在国内光伏行业形成了固有市场，成了能够替代进口的产品，卧式扩散炉与国外差距已很小。随着中国光伏产业近年来的高速发展，扩散设备是太阳能光伏电池生产线的必备的重要设备之一。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-30

④ 扩散炉和刻蚀机采用从48所订制的半导体级产品，扩散后有特殊处理。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

48所太阳电池制造装备具备了整线交钥匙工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际著名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：工控网2012-07-02

我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产...目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案...2001年，中国电科48所与无锡尚德太阳能科技股份有限公司合作开发太阳能光伏专用装备--刻蚀机与扩散炉，中国电科48所正式进军光伏领域，标志着我国太阳能电池专用装备进入了自主研发阶段;2006年，在国家高性能晶体硅太阳能电池生产成套技术研究项目的支持下

来源：华伯仪器2012-05-25

华伯仪器已为太阳能电池厂商做扩散炉的改造升级，安装该系统可使电池转换效率得到提升，实际使用有客户效率上升0.1%以上。...华伯仪器最新发明专利的炉膛气氛稳定系统使中国拥有了全球最先进的扩散设备技术，该技术大幅降低了高方阻扩散的极差，为80方块电阻以上的扩散工艺解决了设备瓶颈，该技术的推出使华伯仪器拥有了世界上最先进的扩散炉设备

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

在前一章中我们较为详尽地介绍了太阳能电池制造过程中的一个重要工序p-n结的制作，即常说的扩散过程，并对制作p-n结的扩散炉进行了简单介绍。而在制造太阳能电池的工艺流程中，通常都在扩散后进行刻蚀。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-22

4．2．1扩散炉的结构以下以一种太阳电池用扩散炉的结构与操作工艺为例进行说明。该扩散炉的大口径加热炉体选用高品质炉丝以及耐高温保温材料，炉体使用寿命长，保温性能好。

来源：中国电子报2012-02-24

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

国内扩散炉生产企业推荐1、中电四十八所：中电四十八所事业二部承担着扩散炉等其他太阳能光伏设备的生产，2008年，成功研制出了新型闭管扩散炉全封闭推舟软着陆扩散炉，2008年销售数百台之多，截至目前市场占有率在

来源：仪表网2012-01-12

多晶硅生长炉、扩散炉、清洗机、分选机等工序上，也都能看到研祥的模块板卡、组态软件、人机界面、交换机等自动化设备。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-03

这次新闻发布会所展示的solarcell整厂整线生产设备，包括wis（外延片检查机）、texture（蚀刻机）、diffusion（磷扩散炉）、inoxside（化学晶边绝缘机）、pecvd（电浆辅助化学相沉积炉

来源：PV-Tech2011-10-26

其中刻蚀机、磷扩散炉和电浆辅助化学气相沉积炉单机部分采用了rena、centrotherm的相关设备，其余单机部分及生产线的串联由广运机械自行规划设计。...电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。

来源：Solarbe2011-10-25

除了其中的刻蚀机、磷扩散炉与电浆辅助化学相沉积炉单机部分搭配德国rena、centrotherm等著名大厂外，其他的单机部分以及产线串联，完全由广运自行规划制造。...此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、iv检测及分类机以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：商务部2011-10-10

展品范围光伏产业装备1)硅棒硅锭硅片生产设备：单晶炉/铸锭炉/坩埚/热场等相关设备；切割设备/清洗设备/检测设备及其他相关设备；2)电池生产设备：全套生产线/腐蚀清洗设备/扩散炉/减反射膜/沉积设备/丝网印刷机