来源：北极星电力网2021-03-11

重点发展:功率器件，微机电系统(mems)传感器，模拟/数模混合芯片，存储芯片，人工智能芯片，硅基光电芯片等半导体;有源矩阵有机发光二极管(amoled)、微型发光二极管(microled)等面板及下游

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。

来源：中国工程院院刊2021-02-01

对于基于微机电系统（mems）的全方位高分辨多波多分量地震勘探技术，目前尚不具备实验测试等基础研发条件。...支撑颠覆性技术发展加强能源技术革命所需的新材料、基础元器件、集成芯片、微型传感器等的研发力度，加快我国柔性薄膜太阳能电池发展，用于可穿戴领域，实现无毒可穿戴电池技术产业化；加快利用弃风、弃水、弃光进行电解水制氢的发展；利用微纳探测技术（微机电系统

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。

来源：国家电网报2020-11-03

辅助运维等功能，建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电

来源：国家电网报2020-11-03

辅助运维等功能，建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电

来源：国家电网报2020-11-03

辅助运维等功能，建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电

来源：中国工程科学2020-08-07

基于微机电系统（mems），有望实现气溶胶质量浓度与粒径谱分布的高灵敏度测量。

来源：by白羽科技2020-07-07

3、机电一体化技术机械元素与电子元素相融合的nsk独自的机电一体化技术，被有效应用于高功能电机、控制技术、感应技术、以及高耐热、高密度、高可靠性的实装技术、生物医学微机电系统技术等领域。

来源：环球网2020-07-06

近年来，低功耗物联网（lpwan）、分布式光纤传感器（dfs）和微机电传感器（mems）的发展，使我们有可能以极低的成本，广泛部署分布式传感器，实现新的基础设施运营逻辑。

来源：新华网等2020-06-05

发动机新工厂建设项目 10亿元9.东风汽车集团有限公司东风越野车军民融合产业园 10亿元10.国家能源投资集团有限责任公司荆州和随州热电联产项目 10亿元 其他部分项目一览 中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网 等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：北极星电力网2020-05-07

支持企业研发生产包括微机电、图像、温度、红外、光电等各类智能传感器、物联网模组、智能感知识别设备、新型智能硬件等物联网创新产品。申报条件。

来源：北极星电力网2020-04-30

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守)原则设计，采用计算机监控系统。

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。

来源：《电力设备》2020-03-11

红外气体分析器的工作原理基于吸光度定律，从物理特征上可以划分为不分光型、分光型、傅立叶红外型以及基于微机电系统技术的微型红外气体分析器。

来源：北极星电力网2020-03-04

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守)原则设计，采用计算机监控系统。

来源：北极星电力网2020-02-28

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守)原则设计，采用计算机监控系统。

来源：环球电镀网2020-02-19

当前，随着3d芯片、微机电系统（mems）和物联网等新的需求不断递增，未来电镀行业将在这些新的高端领域发挥更加突出的作用。...随着电镀工艺的进步和其他行业需求的增长，近年来电镀技术逐渐向电子、微机电系统和钢铁等行业发展。这对电镀的要求更高，也促进了电镀行业向集约化、规模化方向发展，并推动电镀行业技术不断进步。