来源：河北省工信厅2019-04-16

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星储能网2019-02-01

在智能传感器领域，以低功耗、小型化、高性能为目标，重点发展基于mems(微机电系统)工艺的新型生物、气体、光学等智能传感器和集成化传感器，加快污染监测、数字燃气、智慧水务等基于传感技术的智能物联研发及产业化

来源：北极星储能网2019-01-16

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星电力网2019-01-07

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：山东省人民政府2019-01-07

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星大气网2019-01-04

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星环保网2019-01-03

电子信息产业，重点发展集成电路及元器件、微机电系统（mems）及物联网、工业互联网及软件，打造融合创新、智能协同、安全可控的电子信息产业体系。2.大力加快传统行业动能绿色改造。

来源：北极星电力网2018-12-06

持续扩大芯片生产能力，积极引入微机电系统、射频电路等芯片制造先进生产线和先进工艺。依托大型企业建设集成电路封装测试平台，推动系统级封装，提升和完善集成电路芯片、模块、系统的测试水平。

来源：北极星电力网2018-11-22

加快推进高端传感器、微机电系统器件等细分领域产业化。推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。...面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星储能网2018-11-20

加快推进高端传感器、微机电系统器件等细分领域产业化。推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。...面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统(mems)光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星风力发电网2018-11-19

加快推进高端传感器、微机电系统器件等细分领域产业化。推动面向先进工艺的刻蚀机、离子注入机等关键设备研发和产业化，积极引进国际顶尖半导体设备制造企业。...面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星储能网2018-10-31

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星电力网2018-10-30

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：江苏政府网2018-10-11

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星储能网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星电力网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：中国科学报2018-07-11

近年来，可穿戴、便携式电子设备及微机电系统朝着轻薄短小、多功能集成方向快速发展，急需开发与其相配套的高能量密度、柔性化、微型化储能器件。研究团队发展了一种绿色环保的电化学剥离法一步制备出氟掺杂石墨烯。

来源：大连化学物理研究所2018-06-15

大连化物所全固态柔性平面锂离子微型电容器研究获进展近年来，可穿戴、便携式电子设备以及微机电系统(如微型机器人、微型传感器)正朝着轻薄短小、多功能集成的方向快速发展，极大地促进了现代社会对于高功率密度、高能量密度

来源：北极星输配电网整理2018-05-15

北方华创微电子的主要产品包括刻蚀、pvd、cvd、氧化/扩散、清洗、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏