来源：工信部2021-02-01

支持技术难度大、应用价值高、通用性强、对电子元器件行业带动大的配套电子专用设备与仪器，如刻蚀显影设备等工艺设备、显微ct等检测分析仪器的研发及产业化，提升设备仪器质量和可靠性水平。健全产业配套体系。

来源：集邦新能源网2021-01-22

perc电池的制作流程主要为：清洗制绒、扩散制结、边缘刻蚀和去磷硅玻璃、背面沉积氧化铝、双面沉积氮化硅、背接触、丝网印刷、烧结和分选。

来源：中安在线2021-01-12

中国科大团队受三维立方体向四维超立方体演变的启发，将钯铂均匀合金立方体进行氧化刻蚀，通过精准调控钯原子去除和余下钯原子、铂原子重排，得到钯铂合金超立方体框架结构。

来源：打板战线2021-01-11

北方华创：泛半导体领域的刻蚀机，pvd,cvd扩散炉等，广泛应用于光伏，半导体

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

捷佳伟创是太阳能电池片龙头，主要产品包括pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等。凭借领先的pecvd设备，有望受益于近几年perc电池产能扩张周期。

来源：集邦新能源网2020-12-22

设备布局方面，topcon技术主要在原有产线上增加了沉积设备，硼扩设备及湿法刻蚀设备，三类设备均已实现了较高的国产化程度。

来源：可迪尔2020-12-21

在半导体行业中造成环境污染的有机废气，主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程。

来源：北极星太阳能光伏网2020-09-30

公司主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、丝网印刷、自动化配套设备等晶硅太阳能电池生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售以及半导体清洗设备。

来源：4Cair四清空气2020-09-09

液体过滤前景与展望经过采用等离子体、流刻蚀、晕放电等方法进行表面接枝改性的熔喷非织造布，过滤效率有很大改进。预计未来20年非织造过滤材料和膜技术方面的创新可以更有效地淡化海水，未来市场需求巨大。

来源：北极星电力网2020-08-20

200℃以下可以固化并可以焊接的浆料树脂制备工艺；研发适用于新型高效晶硅太阳电池配套浆料的微球银粉理化制备工艺；研究浆料关键材料和作用机理，包括研究有机相的配方，优化浆料的流变学性能和印刷性能；玻璃粉刻蚀减反层的机理

来源：北极星储能网2020-08-18

200℃以下可以固化并可以焊接的浆料树脂制备工艺；研发适用于新型高效晶硅太阳电池配套浆料的微球银粉理化制备工艺；研究浆料关键材料和作用机理，包括研究有机相的配方，优化浆料的流变学性能和印刷性能；玻璃粉刻蚀减反层的机理

来源：X一MOL资讯2020-08-12

具体来说，以一块钙钛矿晶体（例如mapbi3）作为衬底，其上覆盖一层通过刻印法刻蚀而图案化的聚合物膜（如parylene）作为控制晶体生长的掩模（mask），再利用外延法在溶液中生长新的钙钛矿单晶。

来源：新能源Leader2020-07-24

下图a-d为经过激光刻蚀后的负极，可以看到负极表面布满了均匀分布的微孔，负极表面没有因为激光刻蚀产生明显的多余物。...在该项研究中作者采用激光刻蚀的方式在负极上刻蚀出了规则的直孔，这些直孔可以作为li+在负极内部快速扩散的通道，从而有效的提升了厚电极的快速充电能力。

来源：摩尔光伏2020-07-21

温度可以作为刻蚀速率的调节手段，但是这是最后的手段。由于温度较高的情况下，刻蚀溶液在刻蚀槽时会不稳定，所以一般不宜长时间超过10度，当前我们的补液能保证刻蚀速率不下降，所以我们无需调高刻蚀溶液的温度。

来源：电子发烧友2020-07-13

要制造出大的球形太阳能电池，研究人员需要在15%的平板太阳能电池上刻蚀出交替的凹槽，以形成一个中间连接的椭圆形带状图案。...co2激光在覆盖太阳能电池的聚合物硬掩模中产生了合适的图案，并允许一个深度反应离子刻蚀工具在硅太阳能电池的暴露区域产生凹槽。这些凹槽区域的弯曲帮助研究人员随后将太阳能电池折叠成球形。

来源：能源评论·首席能源观2020-07-09

从生产流程上来看，perc电池工艺相当复杂，hjt电池的工艺技术难度虽然较高，但流程较为简洁，大体上可以分为四步：第一步，与常规电池相似，通过刻蚀去除硅片表面的损伤层，然后进行制绒处理；第二步，在硅片两侧沉积本征非晶硅薄膜

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-06-23

在刻蚀设备领域，应用材料也有着不小的市场份额。在研发投入上，应用材料的大手笔令很多企业望尘莫及，持有13300项专利。...可以说，应用材料的薄膜沉积（cvd、pvd 等）、氧化、刻蚀、离子注入、快速热处理、化学机械平整（cmp）、计量检验等设备基本覆盖了集成电路生产的全部环节。

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-06-22

电池片设备主要包括制绒、扩散炉、在线湿法刻蚀机、背钝化、pecvd、激光开槽、丝网印刷机以及测试分选设备。

来源：中国政府采购网2020-06-18

稳态瞬态荧光光谱仪 1台,规格型号：fs5等，数量：1台,单价：元,服务要求：详见文件量子效率测试仪 1台,规格型号：qe-r3011等，数量：1台,单价：元,服务要求：详见文件爱你03包：原子层层积系统 1套，激光刻蚀机

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

工艺设备材料拆解——常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃