来源:《中国电子报》2007-03-07
应用于ic行业的pecvd装片舟均采用铝材料制作,其耐温低、易变形的缺点使其不适用太阳能行业。我们在做了大量试验并参考了国外设备之后,最终采用了新装片舟用来承载硅片。