来源：北极星太阳能光伏网2021-12-29

理想万里晖目前主要产品为用于hjt 电池生产的等离子体化学气相沉积 （pecvd）设备，未来根据客户需求提供hjt电池生产线整线交钥匙工程。...理想万里晖成立于2013年5月21日，公司致力于实现太阳能电池异质结领域装备的国产替代及降本增效， 开发的量产型vhf-pecvd设备助力客户获得异质结电池转换效率达26.30%。

来源：上海经信委2021-12-21

2.太阳能装备以提高效率、升级换代为重点，突破大型高效还原炉、大尺寸单晶炉技术；提升背钝化ald设备、高产能pecvd设备、高效topcon和hjt电池镀膜设备、离子注入等设备技术水平；加强新型高效电池工艺装备

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-10

4个环节的设备均选用迈为独立研发的hjt3.0设备，具有大尺寸、半片、薄片化等特点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中全程无行车，并支持连续镀膜，可以有效降低成本、提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-01

据悉，近日，迈为股份与rec集团签订了400mw hjt异质结电池整线设备订单，将供应pecvd、pvd、丝网印刷等hjt电池核心生产设备，用于rec位于新加坡的400mw hjt电池生产线，该产线将采用

来源：安徽华晟新能源2021-11-11

该产线计划使用华晟开发的单面微晶和双面微晶工艺与迈为开发的大产能pecvd、pvd，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池生产线

来源：北极星碳管家网2021-11-02

型隧穿氧化层钝化接触（topcon）、异质结（hjt）晶硅电池技术和下一代太阳电池技术的研发，突破新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：晶科能源2021-11-01

而实际上，如清洗制绒环节对洁净度要求较高，且工艺复杂；非晶体硅沉积所需pecvd设备较多，镀膜速度较低；此外，双面银丝印与烧结用量大于高温银浆，银粉价格只会越来越贵，这都让hjt难以逾越的成本关和良率关

来源：北极星环保网2021-10-29

积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（mocvd）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（pecvd）、固晶机、光谱分析仪等核心设备 研发生产项目。

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。

来源：PVInfoLink2021-09-17

总体来说，pecvd+pvd已然成为hjt最主流的路线组合。...hjt 因为没有良率问题的困扰，当前技术路线已经较明确，pecvd法其中主要以rfcvd因为技术成熟度较高且镀膜均匀性较好已经成为制备非晶硅层的主流工艺路线，热丝cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势

来源：安徽华晟新能源2021-09-09

日前，安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作，双方致力于开发大产能异质结专用pecvd设备。

来源：北极星环保网2021-08-26

型隧穿氧化层钝化接触（topcon）、异质结（hjt）晶硅电池技术和下一代太阳电池技术的研发，突破新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：pv-magazine2021-07-29

然而，pecvd工艺并不常用于钙钛矿沉积。 “可以用很多不同的方式完成钙钛矿镀膜。...技术分歧梅耶博格的hjt生产线基于pecvd（等离子体增强化学气相沉积）工艺，用于生产双结晶体硅(a-si)/非晶硅(a-si)电池。

来源：雪球2021-07-26

目前所有设备商的产能还无法满足大的订单，公司扩产就是为了后期能满足供应做准备；hjt整线产线长度超过400米，pecvd设备线长100米，而且pecvd一个腔体重量要30多吨，需要大的厂房，很难短期就完成扩产

来源：北极星太阳能光伏网2021-07-21

据曹仁贤介绍，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉、管式pecvd

来源：通威集团2021-07-14

通威在topcon技术方面也取得了重大突破，采用210尺寸pecvd隧穿氧化/多晶硅沉积设备和工艺，研发线平均电池效率达到24.10%，同时1gw topcon中试线也正在建设中。

来源：SOLARZOOM光储亿家2021-06-28

近日，首台由金辰自主研发的异质结hjt太阳能电池pecvd非晶硅薄膜设备运抵晋能科技，正式开启了双方就进一步研究开发“基于异质结hjt太阳能电池新型pecvd的非晶硅薄膜工艺及电池技术”的联合战略合作。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2021-06-25

pe插片机晟成光伏在snec展会上展出的pe插片机，属于光伏电池片生产设备，该设备对接管式pecvd石墨舟镀膜自动化生产线，具备花篮与石墨舟之间自动导片功能，以及对接信号处理功能。

来源：迈为股份2021-05-28

自2019年1月公司的hjt pecvd及其配套设备项目启动至今，迈为先后首创性地研制了第一代产能200mw、第二代产能400mw的pecvd设备，且通过进一步自主研发，成为了第一家实现hjt高效电池整线设备国产化的企业

来源：天风证券2021-05-17

巨大的降本潜力：我们测算了通过降低银浆价值量（smbb、高精度串焊、银包铜、国产替代、规模效应等）、薄片化、设备投资（pecvd降本）等途径对电池成本的影响。