来源：世纪新能源网2013-06-28

副总裁陈金元博士解释说：我们在线式单腔型pecvd设备（hj-1200）自在客户产线上交付使用以来，一个月时间内已突破异质结电池最高转换效率21.11%，取得了平均电池转换效率达20.8%的优异成绩。

来源：中国机电工业 高原2013-06-09

因此，我们在已经开发的pecvd设备基础上重新开发了针对hit电池的制造设备。led产业目前大体上也产能过剩，只是程度有所不同。

来源：《光伏产业观察》杂志2013-04-19

经过不懈努力，在捷佳伟创的管式pecvd设备上进行背面钝化技术的硅片少子寿命在传统工艺的基础上提高了5倍，与文献记录完全相符，这证明捷佳伟创的背面镀膜钝化已经成熟，这项进步填补了国产设备背面镀膜钝化技术的空白

来源：EnergyTrend2013-04-15

目前我们研发改造的pecvd设备已经被杭州一家电池厂订购，作为hit高线电池扩产使用。

来源：北极星太阳能光伏网2012-12-25

包括：还原炉、cvd、pecvd设备、烧结炉和全自动丝印机、线切割机、自动分选机、自动插片机、自动焊接机等、离子注入机。提高这些高价值的关键设备的国产化程度是进一步降低我国电池制造成本的有效途径。

来源：SEMI2012-12-17

薄膜硅先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高

来源：欧瑞康2012-11-16

这种先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高

来源：21世纪网2012-11-14

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台pvd设备，大概能支持3gw非晶硅薄膜电池的产能。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-07

从当前的市场状况可以看到，虽然在管式pecvd设备研制代孕上国产设备成绩喜人，但在该设备的高端领域平板pecvd设备开发方面，本土产品仍处于相对滞后的状态。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。

来源：中国太阳能光伏网2012-07-24

中电48所在2010年、2011年连续两年成为跻身光伏装备制造业全球十强的中国企 业，其在刻蚀机、去胶机、扩散/氧化炉、合金退火炉、网带炉、pecvd设备、离子注入机等半导体专用设备方面有很深入的研究，

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

从原材料制造到电池制造再到组件制造，中国设备国产化程度较高，但是在几种价值较高的关键设备上虽然实现了国产化但技术水平还与国外有一定差距，无法实现大规模市场应用，如还原炉、pecvd设备、烧结炉和全自动丝印机

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

表6.1pecvd的主要性能指标6.3.3pecvd设备的主要特点pecvd设备的主要特点(如表6.2)表6.2pecvd的主要特点表6.3pecvd设备的优点pecvd集成了真空、化学、物理、机械、电气

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

二、实验方法本文针对的是管式pecvd设备的流量实验，在石墨舟的前后依次沿轴线放置7片抛光片，通过测量膜厚来鉴定膜的生长速度，通过不同的流量来分析流量对成膜性能的影响，对膜性能测试是在固定其它参数的情况获得的

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备，用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

大型平板pecvd设备的国产化，正令国内客户翘首以待。...与此同时，pecvd设备也是整条太阳能电池生产线的核心设备之一，应用于晶体硅太阳电池生产线的pecvd设备价格已经占到了整条线设备价格的三分之一左右，是所有设备中比重最大的一部分。

来源：志趣网2011-09-29

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd...设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。

来源：普乐2011-09-02

针对于锗烷高昂的价格，单室多片的平行模式pecvd设备又是非常理想经济的产业化设备，在这种设备上沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。

来源：中国能源报2011-08-31

针对于锗烷高昂的价格，单室多片的平行模式pecvd设备又是非常理想经济的产业化设备，在这种设备上沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。