来源：中国证券网2015-07-21

与传统的cvd制备石墨烯工艺相比，离子注入技术具有低温掺杂、精确的能量和剂量控制和高均匀性等优点，采用离子注入法制备石墨烯单双层数仅受碳注入剂量的影响，与气体的体积比、衬底厚度以及生长温度无关。

来源：微能源微信2015-07-17

与传统的cvd制备石墨烯工艺相比，离子注入技术具有低温掺杂、精确的能量和剂量控制和高均匀性等优点，采用离子注入法制备石墨烯单双层数仅受碳注入剂量的影响，与气体的体积比、衬底厚度以及生长温度无关。

来源：苏州市政府2015-05-06

重点发展高效低成本光伏电池核心生产设备，大力支持产学研合作研发高效率晶硅还原、高端切割、全自动丝网印刷、平板式镀膜、离子注入、等离子化学气相沉积、真空溅射、硒化、激光划线等工艺和装备，提升硅晶光伏电池生产的核心竞争力

来源：国家发改委2015-04-02

3.7电池工序通过在晶体硅片表面腐蚀制绒、扩散或离子注入形成pn结、沉积减反射膜以及制备金属电极，形成将太阳辐射能直接转化成电能的光伏器件的工序。

来源：PV-Tech2015-02-09

最近，应用材料(applied materials)日前看到台湾和韩国客户吸收锂离子注入设备，尤其是用于n型单晶硅双面太阳能电池，预计启用离子注入技术的逾500mw新产能投入使用，用于高端太阳能电池。

来源：新浪博客2014-11-21

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：PV-Tech2014-09-23

据说bison电池技术的下一阶段是采用离子注入，产生高达21.5%的电池转换效率。

来源：中化新网2014-08-26

节能环保大型矿热炉用炭材料开发及生产;电子级氟化氢(hf)生产;石墨烯和纳米碳材料、细结构石墨、生物炭、锂电池负极等新型碳材料的开发及生产;绿色镀膜成套装备研发及制造：真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸镀膜、离子注入

来源：北极星电力网2014-08-25

主要包括6 英寸/8 英寸/12 英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等。

来源：北极星电力网2014-08-25

真空专用设备18、重离子治癌设备研发及制造19、余热余能利用锅炉、生物质锅炉、垃圾焚烧处理锅炉及高参数大容量高效节能锅炉(窑炉)制造20、绿色镀膜成套装备研发及制造：真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸镀膜、离子注入

来源：日经技术在线2014-07-09

该igbt在栅极形成方面，采用了离子注入与外延膜生长组合的ie构造。已通过实验证实，使用这些器件以及新开发的高温高耐压密封材料，在250℃下实施5kv开关操作时，可实现20a以上、2s的开关工作。

来源：日经技术在线2014-07-09

该igbt在栅极形成方面，采用了离子注入与外延膜生长组合的ie构造。已通过实验证实，使用这些器件以及新开发的高温高耐压密封材料，在250℃下实施5kv开关操作时，可实现20a以上、2s的开关工作。

来源：世纪新能源网2014-06-25

离子注入发射极电池技术。是为了减少热扩散带来的表面复合损失，提高结的均匀性。mwt电池技术。将主栅线转移到背面，降低金属的遮光损失。

来源：工信部网站2014-06-25

加强集成电路装备、材料与工艺结合，研发光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备，开发光刻胶、大尺寸硅片等关键材料，加强集成电路制造企业和装备、材料企业的协作，加快产业化进程，增强产业配套能力。

来源：PV-Tech2014-05-09

amtech首席执行官fokkopentinga表示：作为我们正在进行的研发合作伙伴关系的一部分，我们向ecn出货我们的kingstone离子注入系统，并且预计在未来几个月安装及启动更高效率的电池技术的研发工作

来源：PV-Tech2014-05-09

amtech首席执行官fokkopentinga表示：作为我们正在进行的研发合作伙伴关系的一部分，我们向ecn出货我们的kingstone离子注入系统，并且预计在未来几个月安装及启动更高效率的电池技术的研发工作

来源：中证网-中国证券报2014-03-14

强化上游装备及材料领域产业优势，重点支持扩散设备、离子注入设备、等离子增强化学气相沉积设备、丝网印刷设备、电池组件测试设备等生产和检测设备，以及光伏镀膜玻璃、封装胶膜、新型电极材料等关键材料的研发和产业化

来源：广东省政府网站2014-03-13

强化上游装备及材料领域产业优势，重点支持扩散设备、离子注入设备、等离子增强化学气相沉积设备、丝网印刷设备、电池组件测试设备等生产和检测设备，以及光伏镀膜玻璃、封装胶膜、新型电极材料等关键材料的研发和产业化

来源：PV-tech2014-02-28

pentinga补充道：我们继续与现有和潜在的新客户讨论我们尖端技术解决方案，包括我们的离子注入系统、n型和pecvd技术。amtech的公告提供另一个关键指标，该行业尽快需要新的产量和新的设备。

来源：索比太阳能光伏网2014-01-09

特别是在新一代光伏电池技术领域，上海市将重点支持n型晶体硅电池、异质结、离子注入、表面钝化、背电极、薄型硅片、纳米结构、薄膜电池、染料敏化等新一代光伏技术发展。