来源：陕西省人民政府2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星环保网2021-12-14

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：陕西省人民政府2021-12-13

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星环保网2021-11-22

在芯片制造方面，加快布局第二、三代半导体晶片及外延衬底（砷化镓、氮化镓、碳化硅）、微机电系统（mems）、金属—氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）、绝缘栅双极型晶体管（igbt）等特色芯片生产线，

来源：北极星碳管家网2021-11-02

以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台...设计：重点支持中央处理器（cpu）、现场可编程逻辑电路（fpga）、高速高精度ad/da、数字信号处理器（dsp）等高端芯片及工业微控制（mcu）、微机电系统（mems）、射频芯片、光通信芯片等专用芯片研发设计

来源：青岛市发改委2021-11-01

实施集成电路“强芯”工程，重点发展模拟及数模混合集成电路、半导体功率器件、光通信芯片和模组、微机电系统传感器、第三代半导体等细分产业，构建集成电路设计、制造、封测、装备、材料产业链，打造中国北方集成电路产业发展高地

来源：青岛市人民政府2021-09-28

实施集成电路“强芯”工程，重点发展模拟及数模混合集成电路、半导体功率器件、光通信芯片和模组、微机电系统传感器、第三代半导体等细分产业，构建集成电路设计、制造、封测、装备、材料产业链，打造中国北方集成电路产业发展高地

来源：北极星氢能网2021-09-06

高端化工、高端铝材、轻工纺织等优势产业转型升级，重点培育新一代信息技术、高端装备、新能源新材料、新能源汽车、节能环保、生物医药、航空航天等战略性新兴产业，支持建设济南高端软件和先进半导体、淄博mems（微机电系统

来源：北极星环保网2021-08-26

以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台...设计：重点支持中央处理器（cpu）、现场可编程逻辑电路（fpga）、高速高精度ad/da、数字信号处理器（dsp）等高端芯片及工业微控制（mcu）、微机电系统（mems）、射频芯片、光通信芯片等专用芯片研发设计

来源：北极星风力发电网2021-08-23

坚持主体集中、区域集聚，围绕国家战略产品需求，支持北京经济技术开发区、顺义区建设先进特色工艺、微机电工艺和化合物半导体制造工艺等生产线。(4)集成电路装备。

来源：北极星环保网2021-08-04

面向智能制造、工业互联网、智慧城市等领域对传感器的迫切需求，推动现有传感器领域企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）架构的传感器产品、组件及生产工艺研发，不断增加先进传感器产品供给

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：唐山市工业和信息化局2021-04-22

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工信厅2021-04-01

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北工信厅2021-03-30

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工业和信息化厅2021-03-30

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：北极星氢能网2021-03-29

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工信厅2021-03-26

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统