来源：河北工信厅2021-03-30

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工业和信息化厅2021-03-30

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：北极星氢能网2021-03-29

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工信厅2021-03-26

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：北极星电力网2021-03-11

重点发展:功率器件，微机电系统(mems)传感器，模拟/数模混合芯片，存储芯片，人工智能芯片，硅基光电芯片等半导体;有源矩阵有机发光二极管(amoled)、微型发光二极管(microled)等面板及下游

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。

来源：中国工程院院刊2021-02-01

对于基于微机电系统（mems）的全方位高分辨多波多分量地震勘探技术，目前尚不具备实验测试等基础研发条件。...支撑颠覆性技术发展加强能源技术革命所需的新材料、基础元器件、集成芯片、微型传感器等的研发力度，加快我国柔性薄膜太阳能电池发展，用于可穿戴领域，实现无毒可穿戴电池技术产业化；加快利用弃风、弃水、弃光进行电解水制氢的发展；利用微纳探测技术（微机电系统

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。

来源：中国工程科学2020-08-07

基于微机电系统（mems），有望实现气溶胶质量浓度与粒径谱分布的高灵敏度测量。

来源：by白羽科技2020-07-07

3、机电一体化技术机械元素与电子元素相融合的nsk独自的机电一体化技术，被有效应用于高功能电机、控制技术、感应技术、以及高耐热、高密度、高可靠性的实装技术、生物医学微机电系统技术等领域。

来源：新华网等2020-06-05

发动机新工厂建设项目 10亿元9.东风汽车集团有限公司东风越野车军民融合产业园 10亿元10.国家能源投资集团有限责任公司荆州和随州热电联产项目 10亿元 其他部分项目一览 中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网 等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。

来源：《电力设备》2020-03-11

红外气体分析器的工作原理基于吸光度定律，从物理特征上可以划分为不分光型、分光型、傅立叶红外型以及基于微机电系统技术的微型红外气体分析器。

来源：环球电镀网2020-02-19

当前，随着3d芯片、微机电系统（mems）和物联网等新的需求不断递增，未来电镀行业将在这些新的高端领域发挥更加突出的作用。...随着电镀工艺的进步和其他行业需求的增长，近年来电镀技术逐渐向电子、微机电系统和钢铁等行业发展。这对电镀的要求更高，也促进了电镀行业向集约化、规模化方向发展，并推动电镀行业技术不断进步。

来源：湖南工信厅2020-02-10

重点围绕信息通信、工业电子等应用领域，发展高性能、低功耗、低成本传感产品和敏感元器件，促进基于微机电系统等工艺的新型智能传感器研发，发展基于磁感、超声波等新原理的智能传感器。

来源：北极星电力网2019-09-16

人工智能关键零部件方面，研发智能传感器及其集成关键技术，发展新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推进基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos）集成等工艺的新型智能传感器研发

来源：北极星环保网2019-07-30

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星风力发电网2019-07-01

聚焦大尺寸、窄线宽晶圆制造环节，与国内外集成电路龙头企业共建idm模式为主的存储芯片生产线，继续做好国际先进工艺foundry（晶圆代工线）引进，推动mems（微机电系统）、化合物半导体等多品种、小批量特殊工艺线建设