来源：北极星太阳能光伏网2021-08-05

精益求精 成效显著经过客户测试，首批产出的柔性钙钛矿薄膜基板，运用优化的超短激光脉冲工艺，有选择性地除掉吸收层，划掉背电极层，且不损坏基底，在pen-ito上做了高效刻蚀，精度超高，极大地降低了钙钛矿薄膜电池死区宽度

来源：北极星风力发电网2021-07-23

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。...一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：上海市人民政府2021-07-22

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。...一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：北极星氢能网2021-07-21

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。...一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：北极星氢能网2021-07-16

基础材料攻关行动，布局高端石墨烯、陶铝等前沿新材料，攻关刻蚀液、探测器新型晶体等关键战略材料。...装备材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子特气等基础材料产能和技术水平

来源：北极星电力网2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星太阳能光伏网（整理）2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星氢能网2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：福建省人民政府2021-07-08

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星输配电网2021-07-07

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星环保网2021-07-07

增强集成电路材料和装备本地配套及服务能力，支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2021-06-25

据了解，晟成光伏电池智能装备包含制绒上下料机、扩散上下料机、刻蚀上下料机、退火/氧化插片机、pevcd上下料机等，硅片智能装备主要是硅片检测分选机。

来源：北极星氢能网2021-05-12

计算机零部件及外围设备制造等领域基础，重点推动新一代cpu、大规模集成电路晶圆生产线、先进封测生产线、化学机械抛光（cmp）设备、第三代半导体材料等项目建设，引进和研制图形处理器、存储器、第五代移动通信（5g）技术芯片、刻蚀机等高端项目和产品

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：现代化工2021-03-29

全氟磺酸膜改性研究聚焦聚合物改性、膜表面刻蚀改性以及膜表面贵金属催化剂沉积3种途径。

来源：光伏联播2021-02-22

晶硅提纯从工业硅粉中提取太阳能级晶硅，然后将硅晶体切割加工、刻蚀清洗、印刷电极制成光伏电池片，再由电池片封装制成最终的光伏组件。所谓的“高污染”主要针对这一环节。

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等