2003-04-09

基于长期与iii-v族及硅晶圆产业伙伴的密切配合，并积极投入oled制程设备之研发，主要产品包括电浆辅助化学气相沉积设备（pecvd）：p100c／p200c；电子枪蒸镀设备（e-beam）：e850／

来源：通信世界网2007-09-17

长飞光纤光缆公司开发成功的pcvd+ovd工艺，富通集团开发的全合成工艺大棒制造和设备制造技术，都取得了可喜的成果。

2007-04-13

nf3代替sf6（六氟化硫），被用于等离子cvd（化学气相沉积）装置中使用的室内洗涤用气体。2006年的市场规模比上年增加16.3％，达到500亿日元，供货量达到3850吨。

来源：《IT经理世界》2007-03-12

前半段工艺流程的设备包括清洗机、蚀刻机、扩散设备基本可以实现国产化，而后半段的pecvd涂膜设备、丝网印刷机则采用进口设备，这样成本较低，而且效果不错。 　　

来源：《中国电子报》2007-03-07

正是在这种理念的引导下，他们研制成功了pecvd设备。事实上，他们研究薄膜淀积技术和相关设备已多年，以前的pecvd设备主要应用于ic行业。...应用于ic行业的pecvd装片舟均采用铝材料制作，其耐温低、易变形的缺点使其不适用太阳能行业。我们在做了大量试验并参考了国外设备之后，最终采用了新装片舟用来承载硅片。