来源：国际新能源网2011-03-18

2010 年7 月13 日，天威薄膜决定对一期项目进行升级改造，包括：新购瑞士欧瑞康4台化学气相沉积设备(pecvd)，同时另购臵4台(进口)尾气处理设备。

来源：新华网2011-03-11

今年1月，由正泰集团自主研发的中国首台具国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)成功下线，打破了同类设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。

来源：通信产业网2011-03-03

长飞建立之初其技术都是从合作方菲利普公司引进，其生产设备也都是进口设备，光纤工艺路线也是pcvd技术。

来源：宏源证券2011-03-03

solarfrontier近日开始量产,作为世界上最大的cigs薄膜电池项目,将大幅提升该技术的市场份额;而正泰集团投资的张江理想能源1月下线了国内首台薄膜电池关键生产设备——pecvd,预计年内可以实现薄膜电池生产设备的全套国产化

来源：Solarbe.com2011-03-03

日前，公司再推出用于生产高纯度多晶硅的下一代cvd(化学气相沉积)反应器sdr400。

来源：索比太阳能2011-03-01

在这种坚守之下，今年1月，首台“中国造”代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰下属企业成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：西门子工业自动化与驱动技术集团2011-02-25

太阳能生产线设备解决方案主要包括pecvd控制方案、层压机控制方案、湿台清洗设备控制方案、单晶硅/多晶硅炉控制方案。目前全球最大的太阳能市场是欧洲。

来源：索比太阳能2011-02-21

在本次展览中，abb机器人自动工作站——管式pecvd石墨舟取片/插片系统将隆重登场。...该工作站配备有abb“全能冠军”之称的机器人irb 1600，每小时最高可达3000次的取片及插片，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶/多晶太阳能硅片

来源：国家电网报2011-02-17

关键的生产设备pecvd完全被国外企业垄断。目前，生产设备制造成本占薄膜太阳能电池发电成本的七成左右，这导致光伏上网价格比传统电价高出一大截，其产业化瓶颈十分突出。...“中国造”的pecvd性能领先于国外同类产品，价格大幅低于后者，国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。 薄膜太阳能电池产业化有望加速 创造这一突破的是上海理想能源设备公司。

来源：中国电子报2011-02-17

其中，mocvd、等离子刻蚀机等是技术含量很高的设备。在所有的led设备中，没有哪一种设备像mocvd一样，在整个led生产设备投资中占如此大的比重。...国产led设备厂商必须从mocvd设备开始取得突破，才能逐步向前道和后道工艺设备不断扩展，最终实现整个产业链的全部设备国产化。

来源：互联网2011-01-21

彩虹计划用三年时间分两期建成200条mocvd(45片以上机)及配套芯片生产线，形成led外延片1020万片、led芯片2000亿只的年产能，从而建成国内最大规模的led芯片生产基地。

来源：中国电子报2011-01-11

未来硅基薄膜电池将呈现以下发展趋势： 多室pecvd向单室pecvd转变。 pecvd设备的投资占据总投资生产线的30%以上。目前硅基薄膜电池的制备主要包括多室和单室的pecvd技术。

来源：电力网新闻中心2011-01-11

新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：新华网2011-01-10

一年多里，该公司相继完成了pecvd首台机的研发、中试、下线，并申请了10多项核心技术专利。...不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备pecvd，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。

来源：国信证券2010-12-30

2010年7月13日，天威薄膜决定对一期项目进行升级改造，包括：新购瑞士欧瑞康4台化学气相沉积设备(pecvd)，同时另购臵4台(进口)尾气处理设备。

来源：中国能源信息网2010-12-28

将pecvd装置、tco和激光划片装置等的生产量均提高了50％以上，因而大幅削减了必要的装置数量和设置面积（图9）。...图9改进制造装置欧瑞康太阳能将通过改良pecvd装置、透明导电膜（tco）成膜装置、激光切割装置，来实现€0.5/w的制造成本。

来源：Do News2010-12-28

液晶电视背光模组需求的上涨为led业界带来了新希望，内地不少厂商也在积极增加mocvd设备数量，总量有望达到300台，台湾预计将有100台。

来源：招商证券2010-12-17

我们预计明年公司扩散炉和pecvd产值4-5亿(占国内市场25%份额)，按30%净利润率计算，可贡献1.2-1.5亿净利润，约0.2元eps。

来源：美国商业资讯2010-12-14

sdr400 cvd反应器拥有经过验证的年产超过400公吨多晶硅的能力，并巩固了gt solar在开发业界最节能反应器方面的领先地位。...该公司日前宣布，它已经获得了来自韩国多晶硅生产商oci company， ltd.针对其最新型sdrtm400 cvd反应器的4730万美元订单。