来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

这类电池的吸收层即cdte薄膜的性能至关重要，其制备方法有近空间升华法、电沉积法、pvd、cvd、丝网印刷、溅射等，规模化生产应用比较成熟的技术是近空间升华法。...目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。

来源：搜狐IT2011-06-15

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成３结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

扩散炉和pecvd，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。...融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式pecvd、全自动高精度太阳能电池片测试分选设备的推出，将使相关国产太阳能设备的市场份额进一步扩大，电池片生产线的成本优势再一次得到加强。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成3结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：乾照光电2011-06-13

该人士指出，目前mocvd外延炉的生产技术几乎被德国 aixtron公司、美国veeco公司及少数日本企业所垄断，国内根本不具备mocvd的生产能力，新增mocvd实质上就是斥巨资加大进口，而 mocvd

来源：证券市场周刊2011-06-13

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台物理气相沉积炉设备(太阳能光伏组件生产系统新组装完备设备、工具及机械的核心设备)。

来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

目前，公司已投入力量，在硅片生产关键设备、电池生产新工艺设备、组件生产自动化、mocvd等项目上开展研发。...“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：北极星电力新闻网2011-05-03

长江证券分析师彭琦指出，虽然solarbuzz预计今年光伏设备行业的市场增速明显放缓，但天龙光电利用超募资金收购、合资成立子公司切入石墨热场、mocvd等业务领域，对光伏太阳能与led设备产业链进行垂直整合与多元化扩展

来源：《光能》2011-04-25

在继组件搬运、电池、硅片上料的机器人面向市场后，有着“全能冠军”之称的机器人irb1600，被应用到了pecvd石墨舟取片/插片系统。irb采用内部走线，减少了线缆磨损，免于维护。

来源：《光能》2011-04-23

在继组件搬运、电池、硅片上料的机器人面向市场后，有着“全能冠军”之称的机器人irb1600，被应用到了pecvd石墨舟取片/插片系统。 irb采用内部走线，减少了线缆磨损，免于维护。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...接下来，我们即将批量生产自动上下料扩散炉、自动上下料4管pecvd、自动上下料丝网印刷机与烧结炉、自动上下料分选仪等。 第二，我们建立了光伏装备总装流水线。

来源：北极星电力新闻网2011-04-19

新技术称为氧化化学气相淀积（oxidative chemical vapor deposition ，ocvd），将原料单体和氧化剂气化后喷在基底材料上，单体和氧化剂相遇后聚合形成一种pedot薄膜。

来源：中金在线2011-04-12

公司利用超募资金收购、合资成立子公司切入石墨热场、mocvd等业务领域，推动新产品的研制开发，对光伏太阳能与led设备产业链进行垂直整合与多元化扩展，打开向上估值空间。

来源：三秦都市报2011-03-29

针对陕西大功率半导体照明产业链“上游设备、材料和外延片相对薄弱，中游封装具有比较优势，下游应用市场广阔”的特点，西安航天基地提出了“从两端向中间”的发展思路，形成了以战略性新兴产业中高端装备制造业的代表——mocvd

来源：ABB2011-03-24

本次重点展出的abb机器人自动工作站－管式pecvd石墨舟取片/插片系统的取片及插片速度最高可达3000次/每小时，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶

来源：国际新能源网2011-03-18

2010 年7 月13 日，天威薄膜决定对一期项目进行升级改造，包括：新购瑞士欧瑞康4台化学气相沉积设备(pecvd)，同时另购臵4台(进口)尾气处理设备。

来源：新华网2011-03-11

今年1月，由正泰集团自主研发的中国首台具国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)成功下线，打破了同类设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。

来源：通信产业网2011-03-03

长飞建立之初其技术都是从合作方菲利普公司引进，其生产设备也都是进口设备，光纤工艺路线也是pcvd技术。