来源：证券之星2011-06-28

石英坩埚已在光伏、光电两大新能源高端装备领域储备了丰富的新技术、新产品及新项目,其多晶硅铸锭炉、多线切割机、led蓝宝石炉及mocvd等明星产品将陆续产销,未来阶梯式快速增长可期。

来源：DIGITIMES2011-06-27

azzurro目前有2台mocvd(有机金属化学气相沉积法)机台，将于2011年10月完成量产设置，预计能达到每月1,400片150mm(6吋)晶圆的出货量。

来源：天津网-数字报刊2011-06-23

半导体照明（led）方面重点支持mocvd装备、新型衬底、高纯mo源（金属有机缘）等关键设备和材料，大功率芯片和器件、驱动电路及标准化模组、系统集成与应用等共性关键技术研发项目。

来源：中国能源报2011-06-20

目前，公司已投入力量，在硅片生产关键设备、电池生产新工艺设备、组件生产自动化、mocvd等项目上开展研发。...“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-17

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国工控网2011-06-17

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁李本成撰文指出，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

这类电池的吸收层即cdte薄膜的性能至关重要，其制备方法有近空间升华法、电沉积法、pvd、cvd、丝网印刷、溅射等，规模化生产应用比较成熟的技术是近空间升华法。...目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。

来源：搜狐IT2011-06-15

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成３结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

扩散炉和pecvd，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。...融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式pecvd、全自动高精度太阳能电池片测试分选设备的推出，将使相关国产太阳能设备的市场份额进一步扩大，电池片生产线的成本优势再一次得到加强。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成3结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：乾照光电2011-06-13

该人士指出，目前mocvd外延炉的生产技术几乎被德国 aixtron公司、美国veeco公司及少数日本企业所垄断，国内根本不具备mocvd的生产能力，新增mocvd实质上就是斥巨资加大进口，而 mocvd

来源：证券市场周刊2011-06-13

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台物理气相沉积炉设备(太阳能光伏组件生产系统新组装完备设备、工具及机械的核心设备)。

来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

目前，公司已投入力量，在硅片生产关键设备、电池生产新工艺设备、组件生产自动化、mocvd等项目上开展研发。...“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：北极星电力新闻网2011-05-03

长江证券分析师彭琦指出，虽然solarbuzz预计今年光伏设备行业的市场增速明显放缓，但天龙光电利用超募资金收购、合资成立子公司切入石墨热场、mocvd等业务领域，对光伏太阳能与led设备产业链进行垂直整合与多元化扩展

来源：《光能》2011-04-25

在继组件搬运、电池、硅片上料的机器人面向市场后，有着“全能冠军”之称的机器人irb1600，被应用到了pecvd石墨舟取片/插片系统。irb采用内部走线，减少了线缆磨损，免于维护。

来源：《光能》2011-04-23

在继组件搬运、电池、硅片上料的机器人面向市场后，有着“全能冠军”之称的机器人irb1600，被应用到了pecvd石墨舟取片/插片系统。 irb采用内部走线，减少了线缆磨损，免于维护。