来源：中国能源报2011-08-31

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

来源：阿拉丁照明网2011-08-29

首期项目将在交地后6个月内动工建设，两年内竣工投产，项目总投资38亿元，计划购置100台mocvd设备及部分芯片生产线。...德力西在低压电器领域是靠价格占领市场的，但在高技术含量的mocvd领域，没有技术优势，仅仅靠价格战，德力西想复制低压电器领域的成功，恐怕很难。

来源：索比太阳能2011-08-23

gt先进科技宣布，韩国oci公司增加了对其包括最新一代sdrcvd反应炉的订单。新增订单使oci与gt的多晶硅生产设备和技术的订单增加了3300万美元，总订单额达2亿6900万美元。

来源：新浪地产2011-08-16

然后采用等离子体化学气相沉积法(pecvd)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤。

来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：Solarbe2011-08-10

日前，singulus技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（icp-pecvd）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届德国汉堡的eu—pvsec上展出。

来源：OFweek2011-08-08

产品主要有太阳能逆变器、射频电源、射频自动匹配器、射频功率分配器，广泛用于太阳能光伏系统、pecvd、真空镀镆、刻蚀等真空设备当中。公司于2000年进入半导体领域，已有11年丰富的行业经验。

来源：股市动态分析2011-08-08

在三结砷化镓太阳能电池外延片的领域，乾照光电拥有完全自主研发的mocvd技术，是国内最大的能够批量生产三结砷化镓太阳能电池外延片的企业之一。

来源：Solarbe2011-08-03

该订单包括gtsolar的全线多晶矽生产设备，包括用于生产三氯矽烷(tcs)的氢氯化反应设备、sdrcvd还原炉、籽晶生产系统及其他相关生产设备。

来源：OFweek2011-08-01

用化学气相沉积法（cvd）在这种衬底上沉积一层外延有源硅薄层。产业竞争力外延薄膜硅太阳能电池的生产工艺与传统的体硅太阳能电池非常相似。

来源：PV-Tech2011-08-01

维易科还将保持自己作为mocvd和mbe设备顶尖供应商的地位，并继续关注聚光光伏市场。...公司本季度销售收入达2.648亿美元，利润1920万美元，主要来自亚洲led制造商对金属有机化学气相沉积(mocvd)设备的强劲需求。

来源：PV-Tech2011-07-21

目前暂定采用36对棒技术路线，计划采购14台国产cvd还原炉，2台汽化器，2台流化床反应器，2台急冷器，4台电加热器，6座碳塔以及10座精馏塔。

来源：DIGITIMES2011-07-21

高陵的smg技术将11种不同的纯化制程整合在单一设备与单一制程中完成，不需如siemens法的高耗能cvd气相方式且添加许多有毒物质，也可以取得去除掉大部分磷(p)、錋(b)、氧(o)、碳(c)等杂质的低成本高纯度多晶矽

来源：中国能源报2011-07-20

cvd工艺中包括了所谓的“西门子法”、流化床法、粉末法和其它使用蒸馏硅烷或卤化硅混合物的方法。这些特殊材料可用于生长单晶，铸造多晶，以及其他方法生长多晶硅材料，从而生产太阳电池用硅片。...国内产品质量需提升据记者了解，semi发布光伏制造的硅原料新标准semi pv17-0611涉及到利用多种工艺方法生产的多晶硅材料详细规范，包括化学气相沉积(cvd)法、冶金还原法和其他工艺方法。

来源：Solarbe2011-07-18

该标准涉及到利用多种工艺方法生产的多晶硅材料详细规范，包括化学气相沉积（cvd）法、冶金还原法和其他工艺方法。...cvd工艺中包括了所谓的“西门子法”、流化床法、粉末法和其它使用蒸馏硅烷或卤化硅混合物的方法。这些特殊材料可用于生长单晶，铸造多晶，以及其他方法生长多晶硅材料，从而生产太阳电池用硅片。

来源：中国电子报2011-07-14

德国roth&rau公司、otb公司、日本导津公司：平板pecvd设备国际领先。...、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)则完全依赖进口。

来源：国都证券2011-07-07

天龙光电已在光伏、光电两大新能源高端装备领域储备了丰富的新技术、新产品及新项目，其多晶硅铸锭炉、多线切割机、led蓝宝石炉及mocvd等明星产品将陆续产销，未来阶梯式快速增长可期。

来源：南通强生光电科技有限公司2011-07-06

目前，我司整合的60mw生产线，全部投入不超过1亿元人民币，该线核心装备pecvd和真空溅射设备与美国著名真空制造企业合作生产，激光刻线机采用全球著名的德国企业高精度产品。

来源：索比太阳能2011-07-06

另外，双方将在初步合作的基础上，筹建mocvd技术研发中心，以期从根本上提高大陆地区整体的mocvd外延技术水平和mocvd设备维护制造能力。...mocvd是半导体照明产业链的最关键的上游外延生长设备，技术密集，对操作使用人员的要求比较高。近年来，我国半导体照明产业迅速发展，mocvd设备订货量猛增。

来源：OFweek2011-07-05

1 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢)，氯化氢和产业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行cvd