来源：北极星太阳能光伏网2012-01-11

薄膜光伏电池中最具发展潜力的是非晶硅薄膜光伏电池，非晶硅材料是由气相淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(pecvd)法。

来源：北极星太阳能光伏网2012-01-11

gtadvancedtechnologies获得了一个1.013亿美元的光伏订单，将cvd反应装置及配套生产设备出售给一个多晶硅生产商。...gt的总裁兼首席执行官tomgutierrez表示：此次销售是一个值得关注的里程碑，gt第一次将其cvd反应装置出售给现在最大的多晶硅制造商之一。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-31

公司在2月22日、3月1日、3月8日、3月25日和5月19日分别发布公告，共收到mocvd设备补贴款4.16亿元。...mocvd是led芯片领域的关键设备，三安光电分别向美国和德国公司购入了107台该设备。当日，公司收到了芜湖市人民政府给予其中15台设备进度补贴款共8952万元。

来源：每经网2011-12-30

公司在2月22日、3月1日、3月8日、3月25日和5月19日分别发布公告，共收到mocvd设备补贴款4.16亿元。...mocvd是led芯片领域的关键设备，三安光电分别向美国和德国公司购入了107台该设备。当日，公司收到了芜湖市人民政府给予其中15台设备进度补贴款共8952万元。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-26

flamac将继续改进pvd/pe-cvd镀膜技术，能自动处理不同的薄膜材料。该技术有8个工艺室，据说更适合研究pvd和pe-cvd喷涂工艺。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-16

业界进一步分析，诺发的强项是太阳能薄膜电池设备cvd化学气相沉积制程和太阳能薄膜制备设备pvd物理气相沉积制程，科林之前一直要自己开发cvd和pvd技术，但并结果并未如预期顺利，因此直接买下诺发是最佳捷径

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项（即"02专项"）中的"300mm90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目"、"65nm超精细清洗设备研制与产业化项目"、"45-32nmlpcvd...据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

pecvd等薄膜电池生产设备的研制、生产，将光伏生产设备成本降低30%。...在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：新华网2011-11-16

江西晶能光电有限公司相关负责人说：led关键工艺设备的有机金属化学气相沉积(mocvd)机台一个需2000多万元，公司现有的22台也只能刚满足生产需求，但随着生产进一步扩大，技术及资金方面的需求也将增加

来源：《光伏信息报》2011-11-14

其产品从宏观上涵盖了原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd

来源：PV-Tech2011-11-10

莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(pecvd)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局，此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。

来源：PV-Tech2011-11-07

这个工具的关键是pecvd光电直读光谱仪。光电直读光谱仪能够更好的控制薄膜的组织和高速处理的沉积物密度。该工具的理念是基于静态内联生产结合内基底板传导以及静态过程的优点。...德国制造商singulustechnologies收获了一份singularpecvd工具订单，这是新加坡太阳能研究所(solarenergyresearchinstituteofsingapore，seris

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-04

℃的深冷技术，进一步提高尾气回收效率，也间接降低了多晶硅的生产成本；8.二期工程在冷氢化流化床后端还设置了反歧化装置，通过反歧化技术提高四氯化硅（stc）向三氯氢硅的一次转换率；9.此外，二期工程还在cvd...二期工程顺利投产后昱辉阳光的多晶硅综合成本将会降至25美元/公斤（含折旧）；5.二期工程的关键设备，如cvd还原炉、冷氢化的流化床（fbr）均由昱辉阳光提供设计及工艺方案，委托国内厂商生产；还原炉的硅棒数量将由一期工程的

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-03

这次新闻发布会所展示的solarcell整厂整线生产设备，包括wis（外延片检查机）、texture（蚀刻机）、diffusion（磷扩散炉）、inoxside（化学晶边绝缘机）、pecvd（电浆辅助化学相沉积炉...）、printer（网印机）、fastfiringfurnance（fff，快速烧结炉）、ivtester&sorter（iv检测及分类机），以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-01

的电池片检测中心，配套其pecvd的技术研发和测试。...为光伏制造大国，但在电池片生产核心设备如pecvd，烧结炉等关键设备依然未能很好实现国产化，也一直制约着我国电池片的生产成本。

来源：北极星太阳能光伏网2011-10-28

在高温下形成表面磷掺杂ｎ型，从而得到太阳能电池的关键部分ｐｎ结；目前采用ｐｏｃｌ3作为磷源，在卧式炉管中扩散；边缘ｐｎ结刻蚀：去除硅片边缘的ｐｎ结，保证电池正负极间绝缘；ｓｉｎ镀膜：在硅片表面生长一层氮化硅薄膜（ｐｅｃｖｄｓｉｎｘ

来源：中国广播网2011-10-26

开发晶项目,主要从事led(发光二极管)产品的研发、生产制造,计划总投资近5亿美元,首期投资1.6亿美元,进口30台mocvd(金属有机化合物化学气相淀积)设备,主要来自美国、德国、日本。

来源：PV-Tech2011-10-26

电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。

来源：Solarbe2011-10-25

此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、iv检测及分类机以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：北极星太阳能光伏网2011-10-24

日前获悉，中国保绿光伏的生产线率先采用了先进的pecvd技术，该技术在产品收益率为90%的情况下可以将薄膜太阳能电池的转换效率提高到8%。